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涡轮分子泵.pdf
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萌运****魔王
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相关资料
涡轮分子泵.pdf
本发明以提高涡轮分子泵的能力作为目的。涡轮分子泵是将叶片部和螺纹槽部组合的真空泵。而且，在保持转子叶片(5)的转子叶片保持部(31)和保持转子筒部(17)的台阶部(72)的接合部，形成有遍及两者的开口(51)。对叶片部进行排气后的气体中的一部分，在由转子筒部(17)和定子螺纹槽(15a)构成的螺纹槽部被排出，剩余经由开口(51)而被引导至转子筒部(17)的内侧，在由转子筒部(17)和定子螺纹槽(15b)构成的螺纹槽部被排出。开口(51)，在形成于转子叶片保持部(31)和台阶部(72)的接合部的情况下，能够
2023-10-20
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涡轮分子泵.pdf
本发明提供一种动叶层和静叶层交互配置而成的涡轮分子泵，该涡轮分子泵可以防止因真空破坏而发生空气冲入运转中的装置的情况时动叶层与静叶层的叶发生接触的事故，而且转子中心部也不会受到过大的离心力，并且泵的排气性能也比现有的提高了。动叶层(1)的动叶(2)中，圆周方向的叶剖面(2a)的形状以如下方式形成：该叶剖面(2a)的前半部分以凸状向旋转方向后方弯曲，并该叶剖面(2a)的后半部以凸状向旋转方向前方弯曲，从而使该叶剖面(2a)的剖面形状形成为S字形或反S字形。
2023-10-22
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涡轮分子泵.pdf
涡轮分子泵包括：转子，形成有多段旋转翼与圆筒部；多段固定翼，相对于多段旋转翼而交替地配置；定子，相对于圆筒部隔着间隙而配置；多个隔片，层叠在固定有定子的基座上，且将多段固定翼定位；加热器，设于基座；温度传感器，对定子的温度进行检测；以及温度调整部，基于温度传感器的检测温度而控制加热器的接通断开，将定子的温度调整为防止反应产物堆积的温度；且多个隔片中的配置在基座侧的至少一个隔片由冷却介质所冷却，所述涡轮分子泵还包括隔热构件，所述隔热构件设于基座与配置在该基座上的隔片之间。
2023-10-13
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涡轮分子泵.pdf
本发明提供一种能使起动操作简化的涡轮分子泵。涡轮分子泵(100)包括：泵转子(4)，由马达(M)旋转驱动；定子(32)，对应于泵转子(4)而设；加热器(38)，使定子(32)升温至目标温度(T0)；温度传感器(39)，检测定子(32)的温度；及控制单元(2)，若在加热器(38)开始通电后输入有旋转开始指令，则在定子(32)的温度达到设定为小于目标温度的规定温度之前，禁止以常态转数旋转驱动泵转子(4)，当定子(32)的温度超过规定温度时，以常态转数进行旋转驱动。
2023-09-15
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涡轮分子泵.pdf
本发明提供一种涡轮分子泵，对于旋转叶轮(4B)的动叶轮叶片及固定叶轮(2B)的静叶轮叶片的叶轮间距S和弦长C的比即无量纲数X，将第1叶轮层的外周部及内周部处的无量纲数分别设为Xo(R)及Xi(R)，将第2叶轮层的外周部及内周部处的无量纲数分别设为Xo(S)及Xi(S)，此时，对于在旋转轴方向上相邻的叶轮层，设置至少一层满足第1关系式“Xo(R)＞Xo(S)”及第2关系式“Xi(R)＜Xi(S)”的叶轮层。其结果，与基于二维的叶轮截面模型进行叶轮设计的现有涡轮分子泵相比，能够提高排气性能、特别是大流量区域的
2023-10-21
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