聚酯光学膜静电吸附装置、吸附系统及吸附方法.pdf
白凡****12
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聚酯光学膜静电吸附装置、吸附系统及吸附方法.pdf
本发明提供一种聚酯光学膜静电吸附装置,包括急冷辊,急冷辊的上方设有模头,沿急冷辊和模头的连接端设有电极丝驱动系统和连续设置的冷鼓;所述电极丝驱动系统包含电极丝、收线盘及放带盘,电极丝由放带盘依次经第一导向轮、连续设置的冷鼓及第二导向轮绕至收线盘上;收线驱动电机,设置在收线盘处,电极丝通过第二导向轮在收线驱动电机的驱动下缓慢而连续地运动通过冷鼓上设有的冷鼓铸片吸附区,然后经过第一顶端绝缘套绕至收线盘上,放带盘采用磁粉制动器提供电极丝张力。本发明还提供了一种应用于聚酯光学膜静电吸附装置的系统以及吸附方法,已达
静电吸附装置用电源、静电吸附装置及脱离吸附控制方法.pdf
本发明的静电吸附装置(1)具备:电压施加部(3),其对第1电极(5)及第2电极(6)施加被保持物(K)脱离吸附时使用的脱离吸附电压,脱离吸附电压由以第1波形(W1)施加于第1电极(5)的第1交流电压(Va1)、及以与第1波形(W1)具有相位差的第2波形(W2)施加于第2电极(6)的第2交流电压(Va2)构成,该静电吸附装置具有信息输出部,其输出第1波形(W1)与第2波形(W2)交叉的时序的相关信息,电压施加部(3)基于信息,停止对第1电极(5)及第2电极(6)的脱离吸附电压的施加。
静电吸盘系统、成膜装置、吸附及成膜方法、电子器件的制造方法.pdf
本发明涉及静电吸盘系统、成膜装置、吸附方法、成膜方法、以及电子器件的制造方法。静电吸盘系统用于吸附被吸附体,其特征在于,包括:静电吸盘,所述静电吸盘具有电极部和吸附所述被吸附体的吸附面,利用对所述电极部施加的电位差来吸附所述被吸附体;磁力产生部,所述磁力产生部配置在所述吸附面的相反侧,具有在与所述静电吸盘的吸附面平行的面内被划分为多个区域的电磁铁模块;以及磁力控制部,所述磁力控制部对所述多个区域的电磁铁模块各自的磁力进行控制。根据本发明,可以利用静电吸盘良好地吸附第一被吸附体和第二被吸附体双方而不会残留折
静电吸盘系统、成膜装置、吸附及成膜方法、电子器件的制造方法.pdf
本发明涉及静电吸盘系统、成膜装置、吸附方法、成膜方法、以及电子器件的制造方法。静电吸盘系统用于吸附被吸附体,其特征在于,包括:静电吸盘,所述静电吸盘具有电极部和吸附所述被吸附体的吸附面,利用对所述电极部施加的电位差来吸附所述被吸附体;以及吸附辅助构件,在利用所述静电吸盘吸附所述被吸附体时,所述吸附辅助构件用于设定吸附起点并且对吸附进展方向进行引导。根据本发明,可以利用静电吸盘良好地吸附第一被吸附体和第二被吸附体双方而不会残留折皱。
吸附单元、吸附处理装置、及处理系统.pdf
此吸附单元(30)具备层叠体(200A),该层叠体层叠了多个具有蜂窝构造的板状的吸附元件(200);以及框体(30A),该框体连通流入侧开口和排出侧开口,并以形成被处理流体的流路的方式将多个层叠体(200A)保持成堆叠的状态。根据此结构,能够提供具备抑制被处理流体从吸附元件(200)的泄漏且吸附元件(200)难以产生破损的结构的吸附单元(30)。而且,通过使用此吸附单元(30),能够提供可高性能地处理被处理流体的吸附处理装置、及处理系统。