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静电吸附装置用电源、静电吸附装置及脱离吸附控制方法.pdf

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本发明的静电吸附装置(1)具备:电压施加部(3),其对第1电极(5)及第2电极(6)施加被保持物(K)脱离吸附时使用的脱离吸附电压,脱离吸附电压由以第1波形(W1)施加于第1电极(5)的第1交流电压(Va1)、及以与第1波形(W1)具有相位差的第2波形(W2)施加于第2电极(6)的第2交流电压(Va2)构成,该静电吸附装置具有信息输出部,其输出第1波形(W1)与第2波形(W2)交叉的时序的相关信息,电压施加部(3)基于信息,停止对第1电极(5)及第2电极(6)的脱离吸附电压的施加。