

桌椅板倒角加工设备及其加工方法.pdf
觅松****哥哥
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桌椅板倒角加工设备及其加工方法.pdf
本发明涉及板材加工设备的一种桌椅板倒角加工设备及其加工方法,设备包括机台、进给装置、倒角装置,机台包括进给台和倒角台,进给装置包括压紧轮、轮支架、输送轮、传动带、带轮、伺服电机,输送轮由伺服电机、传动带、带轮带动旋转,压紧轮位于输送轮正上方,且旋转定位于轮支架,轮支架固定于进给台台面;倒角装置包括磨盘、固定支架、电机、液压缸,磨盘旋转定位于固定支架并由电机带动旋转,固定支架由液压缸带动沿倒角台定向限位滑动,且滑动方向与进给装置的进给输送方向相互垂直;初始状态下,磨盘的磨面对应于待加工板件的进给端端面。加工
硬质脆性板的倒角加工方法以及倒角加工装置.pdf
本发明提供显示面板的玻璃基板和其他硬质脆性板的倒角加工方法和倒角加工装置,获得能够尽量地抑制碎屑产生并且能够以更高速度进行倒角加工的技术手段。对于在硬质脆性板的割断面和板面相交的部分形成的锋利的棱线,一边使绕与该棱线平行的砂轮轴旋转的多片圆板砂轮与该棱线平行地进给,一边利用该圆板砂轮的周面斜着削去该棱线,在这样的倒角加工方法中,使通过削去棱线形成的斜面(倒角面)与板面之间的夹角(倒角角度)为35度~15度的范围内的角度,并使圆板砂轮的旋转方向为与以往相反的方向,即、使圆板砂轮进行旋转砂轮的周面从割断面侧向
倒角磨轮及其制备方法、晶圆加工设备.pdf
本发明提供了一种倒角磨轮及其制备方法、晶圆加工设备,属于半导体技术领域。倒角磨轮的制备方法包括:提供倒角磨轮基体,倒角磨轮基体的外周面上设置有至少两个沿倒角磨轮基体的周向设置的凹槽;将倒角磨轮基体置于反应腔室内,反应腔室内设置有至少两个金属丝,金属丝的延伸方向与倒角磨轮基体的周向平行,金属丝与凹槽一一对应,每一金属丝与对应凹槽的中心线位于同一水平面上;向金属丝通入电信号,向反应腔室内通入反应气体,反应气体在金属丝的热场作用下产生等离子体,控制倒角磨轮基体旋转,通过等离子体化学气相沉积在凹槽上沉积一层金刚石
倒角磨轮及其制备方法、晶圆加工设备.pdf
本发明提供了一种倒角磨轮及其制备方法、晶圆加工设备,属于半导体技术领域。倒角磨轮的制备方法,包括:提供倒角磨轮基体,所述倒角磨轮基体的外周面上设置有至少两个沿所述倒角磨轮基体的周向设置的凹槽;在所述凹槽内形成一层过渡金属层;然后在所述过渡金属层上利用化学气相沉积法形成金刚石涂层。
倒角磨轮及其制备方法、晶圆加工设备.pdf
本发明提供了一种倒角磨轮及其制备方法、晶圆加工设备,属于半导体技术领域。倒角磨轮的制备方法,包括:提供预设粒径的多个金刚石颗粒,在所述多个金刚石颗粒的表面形成金属涂层;将表面形成有金属涂层的金刚石颗粒与粘合剂混合,得到混合物;提供磨轮本体,所述磨轮本体的外周面上设置有至少两个沿所述磨轮本体的周向设置的凹槽;将所述混合物填充到所述凹槽内,在真空高温环境中控制所述混合物固化;对固化后的所述混合物进行形状修正,形成研磨槽。本发明能够有效提高金刚石与倒角磨轮本体的结合强度,进而提高硅片边缘研磨或抛光加工质量。