研磨轮修整装置.pdf
一吃****成益
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相关资料
研磨轮修整装置.pdf
本发明涉及一种研磨轮修整装置,其解决了现有技术不能实现准确、可靠地对研磨轮进行修整的技术问题,其包括固定机座、支撑板基座固定板、底板支架、滑动板、第二气缸固定板、第一气缸、第二气缸、底板、推料板、第一定位板组件、第二定位板组件、压片、固定块、滑块和压紧机构,支撑板基座固定板与固定机座连接,底板支架与滑动板连接,底板与底板支架连接,第二气缸固定板与固定机座连接;第二气缸与第二气缸固定板连接,支撑板基座固定板和第二气缸固定板连接有导向轴,滑动板与导向轴之间通过直线轴承连接,第二气缸的缸杆与滑动板连接;其可广泛
研磨垫的修整方法和修整装置.pdf
研磨垫的修整方法和修整装置。本发明的方法能够稳定研磨速度,减少进行修整操作的次数,提高工作效率,延长研磨垫的寿命。一种通过使用磨石来修整研磨垫的方法,该研磨垫已经用于通过将工件按压到固定于研磨板的研磨垫并且向研磨垫供给研磨液来研磨工件的表面,该方法包括如下步骤:通过向研磨垫供给高压清洗水来清洗研磨垫;通过在进行清洗步骤的同时使修整磨石在研磨垫的径向上沿着研磨垫的表面轮廓移动来修整研磨垫。
研磨垫清洗装置及研磨垫修整器.pdf
本发明涉及研磨垫清洗装置及研磨垫修整器,该研磨垫清洗装置包括气体输送管、去离子水输送管、文丘里管和控制器;所述气体输送管和去离子水输送管分别与所述文丘里管连接;所述控制器与所述气体输送管和去离子水输送管连接;经所述气体输送管输送的高压气体和经所述去离子水输送管输送的去离子水在所述文丘里管内混合后,从所述文丘里管喷出,所述控制器用于控制所述气体输送管和去离子水输送管的开闭。本发明涉及研磨垫清洗装置及研磨垫修整器能产生较强冲击力去除残留微粒子,清洗效果好。
一种用于修整研磨轮的装置和方法.pdf
本发明实施例公开一种用于修整研磨轮的装置,所述装置包括:柱状的修整部,所述修整部设置成能够绕自身的中心轴线旋转以通过所述修整部的周向表面对研磨轮的研磨齿进行修整;距离感测器,所述距离感测器用于感测所述研磨轮相对于所述修整部的所述周向表面的进给距离;其中,当所述距离感测器感测到所述研磨轮相对于所述修整部的所述周向表面的进给距离达到第一预定距离时,则修整操作结束。
基板背面研磨构件的修整装置和修整方法.pdf
本发明涉及基板背面研磨构件的修整装置和修整方法。在对用于对基板的背面进行研磨的研磨构件进行清洗、修整时,不使清洗液、残渣向周围飞散。修整装置(200)具有槽构件(203),该槽构件(203)能够从上方收容研磨垫(131),并具有顶板部(201)和设置到顶板部(201)的下表面侧的筒状的裙部(202)。在槽构件(203)设置有:二流体喷嘴(204),其向研磨垫的研磨面喷出清洗液和气体;修整板(205),其可与研磨垫(131)的研磨面抵接;以及冲洗喷嘴(206),其向研磨垫(131)的研磨面与修整板(205)