一种晶圆蓝膜张紧和角度调节装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106571331A(43)申请公布日2017.04.19(21)申请号201610927302.2(22)申请日2016.10.31(71)申请人长春光华微电子设备工程中心有限公司地址130033吉林省长春市经开区营口路77号B座(72)发明人吴玉彬帅智艳张德龙刘轩田玉鑫白志斌金钊张男男刘金彪(74)专利代理机构长春吉大专利代理有限责任公司22201代理人王淑秋(51)Int.Cl.H01L21/687(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图5页(54)发明名称一种晶圆蓝膜张紧和角度调节装置(57)摘要本发明涉及一种晶圆蓝膜张紧和角度调节装置，该装置的旋转驱动机构和固定套固定连接在X板上；上轴承中间套位于固定套与轴承内套之间；同步带连接旋转驱动机构的小带轮和上轴承中间套；多个小齿轮组件分布在轴承内套的导向轴孔内；小齿轮套装在螺杆的下部，螺母安放在小齿轮的内孔内，螺杆与螺母构成螺栓配合，螺杆的顶部与晶圆安装盘固定连接，小齿轮与上轴承中间套的内齿啮合；晶圆盘压紧在晶圆安装盘上；撑膜盘固定在轴承内套内侧边缘上，其上端面支撑晶圆盘；上轴承中间套带动小齿轮旋转时，可通过螺杆与螺母的配合使螺杆上升或下降。本发明能够可靠稳定的夹持晶圆盘，实现蓝膜角度调节和张紧，通用性好。CN106571331ACN106571331A权利要求书1/2页1.一种晶圆蓝膜张紧和角度调节装置，其特征在于包括旋转驱动机构，同步带(56)，上轴承中间套(13)，固定套(14)，轴承内套(16)，多个小齿轮组件，撑膜盘(48)，晶圆安装盘(47)，挡板组件；所述旋转驱动机构与X板(11)固定连接，固定套(14)固定连接在X板(11)上；上轴承中间套(13)位于固定套(14)与轴承内套(16)之间；同步带(56)连接旋转驱动机构的小带轮(57)和上轴承中间套(13)，旋转驱动机构可以通过同步带(56)带动上轴承中间套(13)旋转；多个小齿轮组件分布在轴承内套(16)的导向轴孔内；小齿轮组件包括小齿轮(23)和螺杆(12)；小齿轮(23)套装在螺杆(12)的下部，螺母(17)安放在小齿轮(23)的内孔内，螺杆(12)与螺母(17)构成螺栓配合，螺杆(12)的顶部与晶圆安装盘(47)固定连接，小齿轮(23)与上轴承中间套(13)的内齿啮合；晶圆盘压紧在晶圆安装盘(47)上；撑膜盘(48)固定在轴承内套(16)内侧边缘上，其上端面支撑晶圆盘；上轴承中间套(13)带动小齿轮(23)旋转时，可通过螺杆(12)与螺母(17)的配合使螺杆上升或下降。2.根据权利要求1所述的晶圆蓝膜张紧和角度调节装置，其特征在于所述旋转驱动机构包括步进电机(51)、电机板(52)、小带轮(57)；电机板(52)固定在X板(11)上，步进电机(51)与电机板(52)固定连接；小带轮(57)与步进电机(51)的转轴固连，并通过同步带(56)实现与轴承中间套(13)的连接。3.根据权利要求1所述的晶圆蓝膜张紧和角度调节装置，其特征在于还包括张紧机构，所述张紧机构包括调节支座(53)、拉紧座(54)和调节螺栓(55)；拉紧座(54)固定在X板(11)上，调节螺栓(55)与调节支座(53)和拉紧座(54)螺纹连接，调节支座(53)通过其上的导向孔(531)与X板(11)上固定的导向柱配合；整个张紧机构放置在同步带(56)的外侧，调节支座(53)端部的开槽与同步带(56)接触；转动调节螺栓(55)使调节支座(53)沿导向孔(531)的方向移动，可使同步带(56)张紧或松弛。4.根据权利要求1所述的晶圆蓝膜张紧和角度调节装置，其特征在于所述小齿轮组件还包括上衬套(21)、下衬套(27)、止推垫圈(20)和卡簧(19)；上衬套(21)、下衬套(27)、止推垫圈(20)和卡簧(19)依次通过轴孔配合套装在小齿轮(23)的轴上。5.根据权利要求1所述的晶圆蓝膜张紧和角度调节装置，其特征在于还包括下轴承中间套(15)，固定套(14)和轴承中间套(13)、轴承中间套(15)和轴承内套(16)轴面分别相对开设斜槽，上轴承中间套(13)和下轴承中间套(15)通过螺钉固定连接；固定套(14)与上轴承中间套(13)和下轴承中间套(15)之间的空隙中、轴承内套(16)与上轴承中间套(13)和下轴承中间套(15)之间的空隙中充满均匀滚珠(25)。6.根据权利要求1所述的晶圆蓝膜张紧和角度调节装置，其特征在于还包括滑动垫圈(26)，滑动垫圈(26)放置在X板(11)内孔平面上，与其上的下轴承中间套(15)形成滑动连接。7.根据权利要求1所述的晶圆蓝膜张紧和角度调节装置，其特征在于还包括气缸执行组件,所述气缸执行组件包括气缸(31)、气缸板(32)、挡板(