光罩结构及COA型阵列基板.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106773554A(43)申请公布日2017.05.31(21)申请号201710146792.7(22)申请日2017.03.13(71)申请人武汉华星光电技术有限公司地址430070湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋(72)发明人孙涛(74)专利代理机构深圳市德力知识产权代理事务所44265代理人林才桂(51)Int.Cl.G03F7/20(2006.01)H01L27/12(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图5页(54)发明名称光罩结构及COA型阵列基板(57)摘要本发明提供一种光罩结构及COA型阵列基板。所述光罩结构包括中心遮光部(1)、包围所述中心遮光部(1)并与中心遮光部(1)的外轮廓形状一致的外围遮光部(3)、以及夹在所述外围遮光部(3)与中心遮光部(1)之间的环形的镂空狭缝(5)，曝光光线经过所述镂空狭缝(5)会发生衍射，产生传播反向的弯散及能量强度的渐变，配合负性光阻，能够使得最终制得的彩膜层过孔的坡度变缓，从而改善像素电极和金属材质的信号线之间的电连接质量，避免出现显示不良。CN106773554ACN106773554A权利要求书1/1页1.一种光罩结构，其特征在于，包括中心遮光部(1)、包围所述中心遮光部(1)并与中心遮光部(1)的外轮廓形状一致的外围遮光部(3)、以及夹在所述外围遮光部(3)与中心遮光部(1)之间的环形的镂空狭缝(5)。2.如权利要求1所述的光罩结构，其特征在于，所述中心遮光部(1)的外轮廓形状为圆形，所述外围遮光部(3)对应为圆环形，所述镂空狭缝(5)对应为圆环形。3.如权利要求1所述的光罩结构，其特征在于，所述中心遮光部(1)的外轮廓形状为正方形，所述外围遮光部(3)对应为正方形样式的环形，所述镂空狭缝(5)对应为正方形样式的环形。4.如权利要求1所述的光罩结构，其特征在于，所述中心遮光部(1)的外轮廓形状为正六边形，所述外围遮光部(3)对应为正六边形样式的环形，所述镂空狭缝(5)对应为正六边形样式的环形。5.如权利要求1所述的光罩结构，其特征在于，所述中心遮光部(1)的外轮廓形状为正八边形，所述外围遮光部(3)对应为正八边形样式的环形，所述镂空狭缝(5)对应为正八边形样式的环形。6.如权利要求1至5任一项所述的光罩结构，其特征在于，所述镂空狭缝(5)的宽度(B)小于等于2.0um。7.如权利要求6所述的光罩结构，其特征在于，所述外围遮光部(3)的宽度(A)大于0.5um且小于等于1.0um。8.如权利要求1所述的光罩结构，其特征在于，所述中心遮光部(1)与外围遮光部(3)的材质为铬。9.一种COA型阵列基板，其特征在于，包括呈阵列式排布的薄膜晶体管(T)、及自下至上依次层叠在所述薄膜晶体管(T)上的保护层(10)、彩膜层(20)、像素电极(30)、与黑矩阵；所述彩膜层(20)上开设有过孔(21)，所述像素电极(30)经由所述过孔(21)连接薄膜晶体管(T)的漏极；所述过孔(21)由具有如权利要求1所述的光罩结构的光罩进行制作，坡度缓和。2CN106773554A说明书1/4页光罩结构及COA型阵列基板技术领域[0001]本发明涉及液晶显示器件制程领域，尤其涉及一种光罩结构及COA型阵列基板。背景技术[0002]随着显示技术的不断发展，薄膜晶体管液晶显示器(ThinFilmTransistorLiquidCrystalDisplay，TFT-LCD)因具有高画质、省电、机身薄、体积小、无辐射等优点，而被广泛地应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为平板显示装置中的主流。[0003]现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶显示面板及背光模组(backlightmodule)。传统的液晶显示面板由彩膜基板(ColorFilter，CF)、薄膜晶体管阵列基板(ThinFilmTransistorArraySubstrate，TFTArraySubstrate)、以及一配置于两基板间的液晶层(LiquidCrystalLayer)所构成，其工作原理是通过在两片基板上施加驱动电压来控制液晶层的液晶分子的旋转，将背光模组的光线折射出来产生画面。[0004]目前，为了提高液晶显示面板的开口率，降低寄生电容效应，越来越多的液晶显示面板产品将彩膜集成设置在阵列基板一侧，即采用COA(ColorFilterOnArray)技术。与将彩膜和黑矩阵设在彩膜基板上的传统技术相比，COA型阵列基板不需要考虑对盒时的偏差，因此可以在保证黑矩阵能够遮挡栅极线、数据线和薄膜晶体管单元等需遮光的结构的前提下，适当减小黑矩阵的宽度，从而提高开口率。