工件的平面磨削方法和平面磨床.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106881639A(43)申请公布日2017.06.23(21)申请号201610824809.5(22)申请日2016.09.14(30)优先权数据2015-1831342015.09.16JP(71)申请人光洋机械工业株式会社地址日本大阪府(72)发明人勇惣一裕栗冈佳弘(74)专利代理机构北京三幸商标专利事务所(普通合伙)11216代理人刘淼(51)Int.Cl.B24B7/22(2006.01)B24B1/00(2006.01)B24B49/02(2006.01)权利要求书1页说明书10页附图8页(54)发明名称工件的平面磨削方法和平面磨床(57)摘要本发明的课题在于，能以适度的高负荷有效地对硬脆材料、难削材料、其它工件进行磨削。在通过砂轮而对工件进行平面磨削时，在监视磨削负荷的同时，在磨削负荷上升时，降低砂轮的切入速度，在磨削负荷降低时，增加切入速度。对应于磨削负荷的多个中的各负荷阈值，设定磨削负荷越大，砂轮的切入速度越慢的各切入速度，在以规定速度而开始磨削后，每当磨削负荷上升、下降到规定的负荷阈值时，使砂轮减速、增速到相应的切入速度。CN106881639ACN106881639A权利要求书1/1页1.一种工件的平面磨削方法，其特征在于，在通过砂轮对工件进行平面磨削时，在监视磨削负荷的同时，伴随磨削负荷的上升，降低砂轮的切入速度。2.一种工件的平面磨削方法，其特征在于，在通过砂轮对工件进行平面磨削时，在监视磨削负荷的同时，在磨削负荷上升时，降低砂轮的切入速度，在磨削负荷下降时，增加砂轮的切入速度。3.根据权利要求1或2所述的工件的平面磨削方法，其特征在于，对应于磨削负荷的多个负荷阈值的每个，事先设定磨削负荷越大、砂轮的切入速度越慢的各切入速度，在以规定速度开始磨削后，每次在磨削负荷上升、下降到规定的负荷阈值时，将砂轮降低、增加到对应的切入速度。4.根据权利要求1或2所述的工件的平面磨削方法，其特征在于，事先设定高于砂轮的切削时的最大的负荷阈值的退回负荷阈值，在磨削负荷超过退回负荷阈值时，在以规定的退回速度使砂轮退回的同时，进行磨削。5.根据权利要求1或2所述的工件的平面磨削方法，其特征在于，在无火花磨削前，反复进行砂轮的切入与退回。6.根据权利要求1或2所述的工件的平面磨削方法，其特征在于，在磨削负荷超过速度限制执行用的负荷阈值时，即使在之后，磨削负荷降低到规定的切入速度的负荷阈值的情况下，仍以慢于规定的切入速度的限制切入速度使砂轮进行切入，不加速到限制切入速度以上的程度。7.根据权利要求3所述的工件的磨削方法，其特征在于，事先设定高于砂轮的切削时的最大的负荷阈值的退回负荷阈值，在磨削负荷超过退回负荷阈值时，在以规定的退回速度使砂轮退回的同时，进行磨削。8.根据权利要求3所述的工件的平面磨削方法，其特征在于，在无火花磨削前，反复进行砂轮的切入与退回。9.根据权利要求3所述的工件的平面磨削方法，其特征在于，在磨削负荷超过速度限制执行用的负荷阈值时，即使在之后，磨削负荷降低到规定的切入速度的负荷阈值的情况下，仍以慢于规定的切入速度的限制切入速度使砂轮进行切入，不加速到限制切入速度以上的程度。10.一种平面磨床，该平面磨床通过砂轮对工件进行横向给进磨削，该平面磨床包括：磨削负荷测定机构，该磨削负荷测定机构测定磨削中的砂轮的磨削负荷；速度设定机构，该速度设定机构对应于多个负荷阈值设定多个砂轮的切入速度；速度控制机构，该速度控制机构按照下述方式以各负荷阈值为基准，以与各负荷阈值相对应的切入速度对砂轮的速度进行增减，该方式为：在比较磨削中的磨削负荷与负荷阈值的同时，伴随磨削负荷的上升、下降，对砂轮的切入速度进行增速、减速。2CN106881639A说明书1/10页工件的平面磨削方法和平面磨床技术领域[0001]本发明涉及对工件进行平面磨削的工件的平面磨削方法和平面磨床。背景技术[0002]在具有杯型的砂轮的平面磨床中，在磨削用于半导体元件的制造的硅晶片等的硬脆材料的工件时，在监视砂轮轴驱动电动机的负荷电流的同时，以规定的切入速度使砂轮轴的前端的砂轮进行切削，进行旋转台上的工件的横向进给磨削，在因砂轮的孔眼的堵塞使砂轮轴驱动电动机的负荷电流超过规定阈值时，在使砂轮退避、中断磨削后，再次使砂轮进行切削，与工件接触，由此促进砂轮的自动磨锐作用(专利文献1)。[0003]已有技术文献[0004]专利文献[0005]专利文献1：JP特开2006—35406号公报发明内容[0006]发明要解决的课题[0007]在这样的过去的磨削方法中，以规定的切入速度而使砂轮进行切入，另一方面，在磨削中的砂轮中产生孔眼堵塞时，暂时使砂轮退避以中断磨削，然后，再次使砂轮进行切入，