自清洁的传输设备及其清洁方法、湿法设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107185892A(43)申请公布日2017.09.22(21)申请号201710627904.0(22)申请日2017.07.28(71)申请人武汉华星光电技术有限公司地址430070湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋(72)发明人张鹏飞唐林宁(74)专利代理机构深圳市铭粤知识产权代理有限公司44304代理人孙伟峰武岑飞(51)Int.Cl.B08B3/02(2006.01)B08B1/02(2006.01)B08B11/00(2006.01)B08B13/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称自清洁的传输设备及其清洁方法、湿法设备(57)摘要本发明提供了一种自清洁的传输设备，其包括：多个转动装置以及多个清洁装置，所述多个转动装置沿第一方向排列设置，所述多个清洁装置沿第一方向排列设置，所述转动装置与所述清洁装置一一对应；当对所述转动装置进行清洁时，所述清洁装置与所述转动装置接触，所述转动装置进行转动，以使所述清洁装置对所述转动装置进行清洁。本发明还提供了一种具有该传输设备的湿法设备以及该传输设备的清洁方法。本发明的自清洁的传输设备能够对转动装置及时地进行自动清洁，从而不会在基板上留下辊轮印，进而可以提高基板的良率。此外，由于采用自动清洁，无需定期停机清洁，也无需人工清洁，从而节省人力物力。CN107185892ACN107185892A权利要求书1/1页1.一种自清洁的传输设备，其特征在于，包括：多个转动装置以及多个清洁装置，所述多个转动装置沿第一方向排列设置，所述多个清洁装置沿第一方向排列设置，所述转动装置与所述清洁装置一一对应；当对所述转动装置进行清洁时，所述清洁装置与所述转动装置接触，所述转动装置进行转动，以使所述清洁装置对所述转动装置进行清洁。2.根据权利要求1所述的自清洁的传输设备，其特征在于，当对所述转动装置进行清洁时，所述清洁装置与所述转动装置接触，所述转动装置进行转动，同时所述清洁装置在所述第一方向上往复运动，以使所述清洁装置对所述转动装置进行清洁。3.根据权利要求1或2所述的自清洁的传输设备，其特征在于，所述转动装置包括多个辊以及将所述多个辊串联连接起来的辊轴承，所述多个辊沿第二方向排列设置。4.根据权利要求3所述的自清洁的传输设备，其特征在于，所述清洁装置包括清洁条、承载板以及伸缩杆，所述清洁条承载于所述承载板之上，所述伸缩杆设置于所述承载板之下，所述伸缩杆与所述承载板连接。5.根据权利要求4所述的自清洁的传输设备，其特征在于，所述清洁条在所述第二方向上的长度不小于所述转动装置在所述第二方向上的长度，所述清洁条在所述第一方向上的长度不小于所述辊在所述第一方向上的宽度。6.根据权利要求4所述的自清洁的传输设备，其特征在于，所述清洁条由聚氨酯材料制成。7.一种湿法设备，其特征在于，包括权利要求1至6任一项所述的自清洁的传输设备。8.一种自清洁的传输设备的清洁方法，其特征在于，所述传输设备包括多个转动装置以及多个清洁装置，所述多个转动装置沿第一方向排列设置，所述多个清洁装置沿第一方向排列设置，所述转动装置与所述清洁装置一一对应；所述清洁方法包括：所述清洁装置与所述转动装置接触；所述转动装置进行转动，以使所述清洁装置对所述转动装置进行清洁。9.根据权利要求8所述的清洁方法，其特征在于，所述清洁方法还包括：所述转动装置进行转动的同时，所述清洁装置在所述第一方向上往复运动，以使所述清洁装置对所述转动装置进行清洁。2CN107185892A说明书1/3页自清洁的传输设备及其清洁方法、湿法设备技术领域[0001]本发明属于设备清洁技术领域，具体地讲，涉及一种自清洁的传输设备及其清洁方法、湿法设备。背景技术[0002]在液晶面板的生产过程中，通过清洗、涂布、曝光、显影等工序来实现三色基板的形成。显影机和清洗机等湿式设备存在清洗功能，以清洁基板正面和背面的有机物和颗粒(particle)。[0003]然而当生产一段时间后，湿式设备的循环水中会溶解一部分的异物。当不进行生产时，为了节约水和电等资源，会间歇性地停止喷淋。当停止喷淋后，辊(roller)同时停止运转，残留的水分会在辊上挥发，水中溶解的异物会在辊上积攒凝固。当再次生产时喷淋开启无法将辊上的异物再次溶解，基板传送过该段辊后则会在基板背面产生严重的轮印，从而使后段的基板薄化不均匀，导致整张基板无法合格(NG)。在现有技术中，由于辊没有自动清洁的装置，所有只有靠定期的停机清洁，虽然可以起到洁净辊的作用，但是耗费的人力物力较大。发明内容[0004]为了解决上述现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种能够节省人力物力的自清洁的传输设备及其清洁方法