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自清洁的传输设备及其清洁方法、湿法设备.pdf
2023-09-02
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春波****公主
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自清洁的传输设备及其清洁方法、湿法设备.pdf
本发明提供了一种自清洁的传输设备，其包括：多个转动装置以及多个清洁装置，所述多个转动装置沿第一方向排列设置，所述多个清洁装置沿第一方向排列设置，所述转动装置与所述清洁装置一一对应；当对所述转动装置进行清洁时，所述清洁装置与所述转动装置接触，所述转动装置进行转动，以使所述清洁装置对所述转动装置进行清洁。本发明还提供了一种具有该传输设备的湿法设备以及该传输设备的清洁方法。本发明的自清洁的传输设备能够对转动装置及时地进行自动清洁，从而不会在基板上留下辊轮印，进而可以提高基板的良率。此外，由于采用自动清洁，无需定
2023-09-02
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