压印模板及其制作方法、压印装置、压印方法和基板.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107216655A(43)申请公布日2017.09.29(21)申请号201710427223.X(22)申请日2017.06.08(71)申请人京东方科技集团股份有限公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号(72)发明人何晓龙(74)专利代理机构北京市立方律师事务所11330代理人刘延喜王增鑫(51)Int.Cl.C08L83/04(2006.01)C08K3/22(2006.01)C08K3/30(2006.01)C08K9/04(2006.01)C08K9/06(2006.01)G03F7/00(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图2页(54)发明名称压印模板及其制作方法、压印装置、压印方法和基板(57)摘要本发明公开了一种压印模板及其制作方法、压印装置、压印方法和基板。本发明的压印模板基材内填充有导磁性纳米颗粒。所述导磁性纳米颗粒可在磁场作用下产生磁性辅助压印力，所述磁性辅助压印力为增强压印模板、配重滚轮、待压印件之间的接触稳定性提供了便利。同时，本发明还提出了一种压印装置，与所述压印模板相配合，提高了压印模版与压印部件之间的接触稳定性，保持了压印力的均匀性。CN107216655ACN107216655A权利要求书1/1页1.一种压印模板，其特征在于，所述压印模板的基材内填充有导磁性纳米颗粒。2.根据权利要求1所述的压印模板，其特征在于，所述基材为二甲基硅氧烷，所述导磁性纳米颗粒均匀分散于所述二甲基硅氧烷内部。3.根据权利要求1所述的压印模板，其特征在于，所述磁性纳米颗粒为直径小于或等于12纳米的超顺磁纳米颗粒；所述超顺磁纳米颗粒为铁钴镍的氧化物或者硫化物。4.根据权利要求1所述的压印模板，其特征在于，所述导磁性纳米颗粒的表面修饰亲油性基团；所述亲油性基团包括烷烃基；或，含有芳基、醋、醚、胺、酞胺基团的烃基；或，含有双键的烃基；或，聚氧丙烯基；或，聚硅氧烷基。5.一种权利要求1-4任一项所述压印模板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：将导磁性纳米颗粒与基材前驱体溶液混合，形成悬浮液；将所述悬浮液浇筑于纳米压印母板表面，并去除气泡；固化所述纳米压印母板表面的悬浮液，脱模，形成压印模板。6.一种压印装置，其特征在于，与权利要求1-4中任一项所述的压印模板配合，以便实施压印作业，所述压印装置包括适于支撑待压印件的载台、适于将所述压印模板抵持于待压印件上的配重滚轮、适于对所述压印模板产生磁性辅助压印力的磁性件；在压印时，所述配重滚轮处于所述载台上方，所述磁性件处于所述载台下方，所述配重滚轮与磁性件同步水平移动。7.根据权利要求6所述的压印装置，其特征在于，所述压印装置还包括用于固定所述压印模板的支架，所述支架上设有便于所述压印模板在竖向方向具有预设行程的弹性件。8.一种压印方法，其特征在于，采用权利要求6或7所述的压印装置，具体包括如下步骤：压印准备：将待压印件置于所述载台上，并于待压印件上方预设位置处固定所述压印模板；压印：所述配重滚轮于所述压印模板上方以预设路径滚动，以使所述压印模板抵持于待压印件表面；处于所述载台下方的所述磁性件与所述配重滚轮同步水平移动，以产生吸引所述压印模板的磁性辅助压印力，使所述压印模板上的图案印制于所述待压印件上。9.根据权利要求8所述的压印方法，其特征在于，所述压印装置包括用于固定所述压印模板的支架，所述支架上设有便于所述压印模板在竖向方向具有预设行程的弹性件；所述压印步骤之后，还包括：脱模：所述配重滚轮与所述磁性件沿预设路径远离所述压印模板时，所述压印模板在所述弹性件作用下，以预设行程竖向运动，使所述压印模板与待压印件分离。10.一种基板，其特征在于，其采用权利要求8-9中任一项所述的压印方法印制而成。2CN107216655A说明书1/6页压印模板及其制作方法、压印装置、压印方法和基板技术领域[0001]本发明涉及纳米级印刷领域，特别涉及一种压印模板及其制作方法、压印装置、压印方法和基板。背景技术[0002]纳米压印工艺是一种低成本、高效率的纳米级图案转移技术，可避免光学光刻瓶颈，制作更小的特征尺寸。研究结果表明压印的最小特征尺寸可以达到10nm。现有的压印技术方法主要有：抗蚀剂涂层加热压印、常温紫外固化压印、硬模压印、软模压印等；其中，滚对平的压印，简单方便，易于量产化，受到人们的广泛关注。但以配重滚轮为主的压印部件与压印模版之间的接触稳定性、及压印力分布的均匀性比较难以控制，压印后的残胶量会厚薄不一，导致对后续的刻蚀图案造成严重不利影响。发明内容[0003]本发明的主要目的是改进压印模版的特性，使其可产生额外的辅助压印力，进而提高压印模版与压印部件之间的接触稳定性和保持压印力的均匀性，本发明