压印装置、压印方法、压印系统和器件制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103091977A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103091977103091977A(43)申请公布日2013.05.08(21)申请号201210414491.5(22)申请日2012.10.26(30)优先权数据2011-2363782011.10.27JP(71)申请人佳能株式会社地址日本东京(72)发明人饭村晶子铃木章义(74)专利代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038代理人陈新(51)Int.Cl.G03F7/00(2006.01)G01N21/956(2006.01)权权利要求书2页利要求书2页说明书10页说明书10页附图11页附图11页(54)发明名称压印装置、压印方法、压印系统和器件制造方法(57)摘要本公开涉及压印装置、压印方法、压印系统和器件制造方法。一种使形成在模具上的图案与提供给基板的压印材料相接触以将图案转印到压印材料的压印装置包括：发射单元，被配置为发射用于使发光材料发射光的激发光；检测单元，被配置为检测光；和模具保持单元，被配置为保持包括所述发光材料的模具，其中，在图案被转印到压印材料之后，发射单元向转印到压印材料的图案发射激发光，并且检测单元检测从残留在压印材料中的发光材料发射的光。CN103091977ACN10397ACN103091977A权利要求书1/2页1.一种压印装置，所述压印装置使形成在模具上的图案与提供给基板的压印材料相接触以将图案转印到压印材料，所述压印装置包括：发射单元，被配置为发射用于使发光材料发射光的激发光；检测单元，被配置为检测光；和模具保持单元，被配置为保持包括所述发光材料的模具；其中，在图案被转印到压印材料之后，发射单元向转印到压印材料的图案发射激发光，并且检测单元检测从残留在压印材料中的发光材料发射的光。2.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述发射单元发射用于在模具与压印材料相接触的情况下固化压印材料的光。3.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述检测单元检测被形成用于对准基板的标记。4.根据权利要求1所述的压印装置，其中，通过将当发射单元向转印到压印材料的图案发射激发光时检测单元所检测到的检测结果与当模具不具有缺陷并且发射单元向转印到压印材料的图案发射激发光时检测单元所检测到的参考检测结果进行比较，来检测模具的缺陷。5.根据权利要求1所述的压印装置，其中，如果检测单元通过检测从残留在压印材料中的发光材料发射的光而检测到模具的缺陷，则停止图案的转印。6.一种压印装置，所述压印装置使形成在模具上的图案与提供给基板的压印材料相接触以将图案转印到压印材料，所述压印装置包括：发射单元，被配置为发射第一激发光和第二激发光，其中第一激发光用于使第一发光材料发射光，所述第二激发光用于使第二发光材料发射光；检测单元，被配置为检测从第一发光材料发射的光和从第二发光材料发射的光；和模具保持单元，被配置为保持包括第一发光材料的模具；其中，在图案被转印到包括第二发光材料的压印材料之后，发射单元向转印到压印材料的图案发射第一激发光，检测单元通过检测从第一发光材料发射的光来检测模具的缺陷，并且发射单元向转印到压印材料的图案发射第二激发光，检测单元通过检测从第二发光材料发射的光来检测转印到压印材料的图案的缺陷。7.一种压印方法，所述压印方法使形成在包括发光材料的模具上的图案与提供给基板的压印材料相接触以将图案转印到压印材料，所述压印方法包括：在图案被转印到压印材料之后，向转印到压印材料的图案发射用于使所述发光材料发射光的激发光；和检测从残留在压印材料中的发光材料发射的光。8.一种压印系统，所述压印系统将多个压印装置连接至检查装置以允许共享共同设施，所述多个压印装置使形成在包括发光材料的模具上的图案与提供给基板的压印材料相接触以将图案转印到压印材料，其中所述检查装置包括：发射单元，被配置为发射用于使发光材料发射光的激发光；和检测单元，被配置为检测光；其中，在图案已被压印装置转印到压印材料的基板被装入之后，发射单元向转印到压印材料的图案发射激发光，并且检测单元检测从残留在压印材料中的发光材料发射的光。2CN103091977A权利要求书2/2页9.一种压印系统，所述压印系统连接多个根据权利要求1至5中任一项所述的压印装置以允许共享共同设施，其中，如果所述多个压印装置中的任何一个通过由检测单元检测从残留在压印材料中的发光材料发射的光来检测模具的缺陷，则该检测模具的缺陷的压印装置向其它多个压印装置所转印的图案发射激发光，并且所述检测单元检测从残留在压印材料中的发光材料发射的光。10.一种压印系统，所述压印系统连接多个根据权利要求6所述的压印装置以允许共享共同设施，其中，如果所述多个压印装置中的任何一