压印装置及压印方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112689798A(43)申请公布日2021.04.20(21)申请号201980059719.3(74)专利代理机构北京汇知杰知识产权代理有(22)申请日2019.09.10限公司11587代理人吴焕芳杨勇(30)优先权数据10-2018-01090672018.09.12KR(51)Int.Cl.10-2018-01367132018.11.08KRG03F7/00(2006.01)G03F9/00(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日H01L21/027(2006.01)2021.03.11(86)PCT国际申请的申请数据PCT/KR2019/0116852019.09.10(87)PCT国际申请的公布数据WO2020/055086KO2020.03.19(71)申请人爱泰德有限公司地址韩国大田广域市(72)发明人徐志勋柳金标李宥宪权利要求书2页说明书6页附图6页(54)发明名称压印装置及压印方法(57)摘要压印装置为在主基板及聚合物薄膜之间施加压力，将形成在所述主基板的图案转印于所述聚合物薄膜。所述压印装置包括多个线圈，利用通过所述多个线圈感应的电磁场加热所述主基板的表面。在多个线圈分别定义贯通孔，在所述贯通孔插入支撑杆。所述多个线圈的位置对应于所述主基板而发生改变。CN112689798ACN112689798A权利要求书1/2页1.一种压印机构，包括：第一主体部，提供支撑面；及第二主体部，提供与所述支撑面相互面对的压缩面，并且以上下方向活动；所述第一主体部包括：多个线圈芯，排列成矩阵形状，分别定义以与所述上下方向正交的第一方向形成的第一贯通孔及以与所述上下方向及所述第一方向正交的第二方向形成的所述第二贯通孔；多个线圈线，分别包围所述多个线圈芯；多个第一支撑杆，分别通过所述多个线圈芯中的相对应的线圈芯的第一贯通孔；多个第二支撑杆，分别通过所述多个线圈芯中的相对应的线圈芯的第二贯通孔。2.根据权利要求1所述的压印机构，其特征在于，还包括：供电部，对所述多个线圈线供应交流电源。3.根据权利要求2所述的压印机构，其特征在于，所述线圈芯中的至少一部分沿着所述多个第一支撑杆中的至少任意一个以所述第一方向移动；所述线圈芯中的至少一部分沿着所述多个第二支撑杆中的至少任意一个以所述第二方向移动。4.根据权利要求3所述的压印机构，其特征在于，还包括：第一上部固定辊，配置在所述第一主体部的一侧；第二上部固定辊，配置在所述第一主体部的另一侧；第一下部固定辊，配置在所述第二主体部的一侧，并且与所述第一上部固定辊相互面对；及第二下部固定辊，配置在所述第二主体部的另一侧，并且与所述第二上部固定辊相互面对。5.根据权利要求4所述的压印机构，其特征在于，还包括：第一导辊，与所述第一上部固定辊及所述第一下部固定辊相邻配置；第二导辊，与所述第二上部固定辊及所述第二下部固定辊相邻配置，并且以与所述第一导辊相同的方向进行旋转。6.根据权利要求3所述的压印机构，其特征在于，还包括：所述第一固定部件，配置在所述多个线圈芯中的至少任意一个的一侧，并且结合于所述多个第一支撑杆中的相对应的第一支撑杆；及第二固定部件，配置在所述多个线圈芯中的所述至少任意一个的另一侧，并且结合于所述多个第二支撑杆中的相对应的第二支撑杆。7.根据权利要求3所述的压印机构，其特征在于，还包括：多个引导部件，分别收容于所述第一贯通孔及所述第二贯通孔；在所述多个引导部件的各个内部形成有第一螺丝图案。8.根据权利要求7所述的压印机构，其特征在于，在所述多个第一支撑杆及所述多个第二支撑杆分别形成有与所述第一螺丝图案相对应的第二螺丝图案。9.根据权利要求3所述的压印机构，其特征在于，2CN112689798A权利要求书2/2页所述第二主体部还包括多个温度传感器，所述多个温度传感器排列成与所述多个线圈芯相对应的矩阵形状；所述供电部根据所述多个温度传感器分别感应的温度对所述多个线圈线供应具有相互不同大小的交流电源。10.根据权利要求3所述的压印机构，其特征在于，所述第一主体部还包括多个温度传感器，所述多个温度传感器排列成与所述多个线圈芯相对应；所述供电部根据所述多个温度传感器分别感应的温度对所述多个线圈线供应具有相互不同大小的交流电源。11.根据权利要求3所述的压印机构，其特征在于，所述第二主体部包括引导冷却水的管道。12.一种压印方法，包括如下的步骤：在由第一主体部提供的支撑面配置形成有细微图案的主基板，所述细微图案的至少一部分被金属涂层覆盖；在第二主体部及所述主基板之间配置聚合物薄膜，所述第二主体部提供与所述支撑面相互面对的压缩面；所述第一主体部包括多个线圈芯、多个线圈线、多个第一支撑杆及多个第二支撑杆，