一种高精度自动纠偏装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107240572A(43)申请公布日2017.10.10(21)申请号201710587249.0(22)申请日2017.07.18(71)申请人深圳市拉普拉斯能源技术有限公司地址518000广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号(72)发明人刘照安朱太荣谢越森林佳继伊凡·裴力林(74)专利代理机构深圳市中科创为专利代理有限公司44384代理人曹红梅苏芳(51)Int.Cl.H01L21/683(2006.01)H01L21/68(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图5页(54)发明名称一种高精度自动纠偏装置(57)摘要本发明公开一种高精度自动纠偏装置，包括翻转模组、吸盘模组、角度调整模组、X轴调整模组、Y轴调整模组；所述角度调整模组驱动吸盘模组转动以调整其吸盘的角度；所述Y轴调整模组驱动吸盘模组进行Y方向的位置调整；所述翻转模组用于将吸盘模组、角度调整模组、Y轴调整模组同时翻转换向；所述X轴调整模组设置于吸盘模组下方，且与翻转模组可拆卸式连接；所述X轴调整模组用于承接翻转换向后的所述吸盘模组上的角度及Y方向位置调整好后的硅片，并对该硅片进行X方向的位置调整。本发明纠偏精确度高，体积小，吸盘模组翻转轮换上料效率高，有利于太阳能硅片的批量化纠偏处理。CN107240572ACN107240572A权利要求书1/2页1.一种高精度自动纠偏装置，其特征在于，包括翻转模组、吸盘模组、角度调整模组、X轴调整模组、Y轴调整模组；所述角度调整模组驱动吸盘模组转动以调整其吸盘的角度；所述Y轴调整模组驱动吸盘模组进行Y方向的位置调整；所述翻转模组用于将吸盘模组、角度调整模组、Y轴调整模组同时翻转换向；所述X轴调整模组设置于吸盘模组下方，且与翻转模组可拆卸式连接；所述X轴调整模组用于承接翻转换向后的所述吸盘模组上的角度及Y方向位置调整好后的硅片，并对该硅片进行X方向的位置调整。2.根据权利要求1所述的高精度自动纠偏装置，其特征在于，所述翻转模组包括翻转电机、第一皮带轮、第二皮带轮、第一皮带、翻转轴、第一安装板、第二安装板；所述第一安装板横截面为L型，且其横端与第二安装板的一端可拆卸式连接；所述第一安装板的竖端、第二安装板的另一端均设置通孔；所述第一皮带轮设置于第一安装板竖端通孔的第二安装板一侧，翻转电机设置于该通孔的另一侧，且翻转电机的输出轴穿过该通孔与第一皮带轮连接；所述第二皮带轮设置于第二安装板通孔的第一皮带轮一侧，翻转轴设置于该通孔的另一侧，且翻转轴的一端穿过该通孔与第二皮带轮连接；所述第一皮带轮与第二皮带轮经第一皮带传动。3.根据权利要求2所述的高精度自动纠偏装置，其特征在于，所述吸盘模组包括第一吸盘、第二吸盘、吸盘主轴、第三安装板；所述第三安装板的一端设置圆形通孔，另一端设置带开口的矩形通孔；所述吸盘主轴穿过第三安装板的圆形通孔，且两端分别设置第一吸盘、第二吸盘；所述翻转轴的另一端与第三安装板的矩形通孔一端可拆卸式连接。4.根据权利要求3所述的高精度自动纠偏装置，其特征在于，所述角度调整模组包括角度调整电机、第三皮带轮、第四皮带轮、第二皮带；所述角度调整电机与第三皮带轮垂直设置，且其输出轴与第三皮带轮连接；所述第四皮带轮嵌套在吸盘主轴外侧；所述第三皮带轮与第四皮带轮经第二皮带传动。5.根据权利要求2所述的高精度自动纠偏装置，其特征在于，所述X轴调整模组包括第四安装板、第五安装板、X轴丝杆、X轴丝母、贴片吸盘、升降气缸、X轴电机、第一滑块；所述X轴电机设置在第四安装板的一端，其输出轴与X轴丝杆一端连接；所述第四安装板的另一端两侧分别与X轴丝母、第二安装板可拆卸式连接；所述第五安装板一侧经X轴丝母与X轴丝杆活动连接，另一侧设置竖直导轨；所述第一滑块与贴片吸盘垂直设置；所述升降气缸驱动第一滑块沿竖直导轨做上下直线运动。6.根据权利要求4所述的高精度自动纠偏装置，其特征在于，所述Y轴调整模组包括Y轴丝杆、Y轴电机、联轴器、四交叉滚子导轨、第二滑块；所述第二滑块包括第一矩形块、第二矩形块、Y轴丝母，且三者一体成型；所述第一矩形块宽度大于第二矩形块宽度，且两矩形块均设置通孔；所述第一矩形块的一侧设置第二矩形块，相邻的一侧设置Y轴丝母；所述第二滑块平行设置在第三安装板的上方；所述第二矩形块的通孔嵌套在角度调整电机的主体与其输出轴的连接处；所述第一矩形块的通孔嵌套在吸盘主轴外侧，且置于第四皮带轮的下方；所述联轴器一端与Y轴电机的输出轴连接，另一端与Y轴丝杆连接；所述四交叉滚子导轨分别两两设置于第三安装板的顶部圆形通孔两侧；所述Y轴电机靠近翻转轴的一侧与对应的翻转轴一侧可拆卸式连接。7.根据权利要求6所述的高精度自动纠偏装置，其特征在