电子探针式测量.pptx

会计学结构组成组成：电子枪、电磁透镜组、物镜光阑和样品室等
作用：获得扫描电子束
扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径电子枪：提供电子源
电磁透镜：起聚焦电子束（三级缩小形成细微的探针）的作用
SEM中束斑越小，即成像单元越小，相应的分辨率就愈高。
样品室：放置样品，安置信号探测器，还可带多种附件。样品室扫描系统信号探测放大系统和图像显示记录系统真空系统电源系统由稳压、稳流及相应的安全保
护电路所组成，其作用是提供扫描电子
显微镜各部分所需要的电源。S440立体扫描电子显微镜扫描电子显微镜用途在扫描电镜应用中，很多集中在半导体器件和集成电路方面，它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况，这是因为这种变化会带来象的反差的变化。焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。利用束感生电流，可以观测半导体P—N结内部缺陷。扫描电子显微镜对于固体材料的研究应用非常广泛，没有任何一种仪器能够和其相提并论。对于固体材料的全面特征的描述，扫描电子显微镜是至关重要的。在半导体器件（IC)研究中的特殊应用：3）利用二次电子电位反差像，反映了样品表面的电位，从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况，特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。
4）利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构（原子在晶体中的排列方式），晶体取向分布分析，基于晶体结构的相鉴定。谢谢！