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30六月20241、仪器简介2、仪器结构2、仪器结构3、工作原理4.2波谱仪3、工作原理3、工作原理3、工作原理4、能谱仪和波谱仪4.1能谱仪4.1能谱仪可以得到以通道(能量)为横坐标、通道计数(强度)为纵坐标的X射线能量色散谱,并显示于显像管荧光屏上。下图为NaCl的扫描形貌像及其能量色散谱。4.1能谱仪4.2波谱仪4.2波谱仪回转式波谱仪聚焦圆的中心O固定,分光晶体和检测器在圆周上以1:2的角速度运动来满足布拉格衍射条件。这种谱仪结构简单,但由于分光晶体转动而使X射线出射方向变化很大,在样品表面不平度较大的情况下,由于X射线在样品内行进的路线不同,往往会造成分析上的误差。4.2波谱仪横坐标代表波长,纵坐标代表强度。谱线上有许多强度峰,每个峰在坐标上的位置代表相应元素特征X射线的波长,峰的高度代表这种元素的含量。在进行定点分析时,只要把图13-4中的距离L从最小便道最大,就可以在某些特定位置测到特征波长的信号,经处理后可在荧光屏或X-Y记录仪上把谱线描绘出来。4.2波谱仪4.3能谱仪与波谱仪的比较4.3能谱仪与波谱仪的比较4.3能谱仪与波谱仪的比较5、电子探针应用5、电子探针应用5、电子探针应用5、电子探针应用5、电子探针应用5、电子探针应用5、电子探针应用