掩膜板载台和蒸镀系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107354427A(43)申请公布日2017.11.17(21)申请号201710797457.3(22)申请日2017.09.06(71)申请人京东方科技集团股份有限公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号申请人鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司(72)发明人吕守华(74)专利代理机构北京三高永信知识产权代理有限责任公司11138代理人滕一斌(51)Int.Cl.C23C14/04(2006.01)C23C14/24(2006.01)C23C14/12(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图7页(54)发明名称掩膜板载台和蒸镀系统(57)摘要本发明公开了一种掩膜板载台和蒸镀系统，属于蒸镀工艺领域。所述掩膜板载台包括底座和相互间隔设置在所述底座上的至少两个矫正夹具；所述至少两个矫正夹具被配置为将放置在所述底座上蒸镀用金属掩膜板的框架夹紧在所述底座上，所述底座上设有用于供有机材料通过的第一开口。本发明实施例提供的掩膜板载台包括底座和相互间隔设置在所述底座上的至少两个矫正夹具，底座上设有第一开口，用于供有机材料通过，在进行有机蒸镀镀膜时，掩膜板载台上的至少两个矫正夹具压住金属掩膜板的框架，避免框架发生变形，这样当基板与金属掩膜板的表面压合后，基板与金属掩膜板之间的间隙减小甚至消除，蒸镀得到的图案形状及轮廓清晰，尺寸正常，达到改善混色不良、提高产品良率的目的。CN107354427ACN107354427A权利要求书1/2页1.一种掩膜板载台，其特征在于，所述掩膜板载台包括底座和相互间隔设置在所述底座上的至少两个矫正夹具；所述至少两个矫正夹具被配置为将放置在所述底座上蒸镀用金属掩膜板的框架夹紧在所述底座上，所述底座上设有用于供有机材料通过的第一开口。2.根据权利要求1所述的掩膜板载台，其特征在于，每个所述矫正夹具均包括支撑杆、L型连接杆和用于压紧所述框架的压合盘，所述支撑杆的一端安装在所述底座上，所述支撑杆的另一端连接所述L型连接杆的一端，所述L型连接杆的另一端设置有所述压合盘，所述压合盘用于提供夹紧所述框架的力。3.根据权利要求2所述的掩膜板载台，其特征在于，所述底座内部设有容纳腔，所述底座的顶面设置有与所述容纳腔连通的第二开口；所述矫正夹具具有第一状态和第二状态，当所述矫正夹具处于第一状态时，所述矫正夹具容置在所述容纳腔内，当所述矫正夹具处于第二状态时，所述矫正夹具将所述框架夹紧在所述底座上；所述第二开口用于供所述矫正夹具由所述第一状态转换为所述第二状态时穿过。4.根据权利要求3所述的掩膜板载台，其特征在于，所述支撑杆的一端可转动安装在所述容纳腔内，且所述支撑杆可绕所述支撑杆的一端在第一位置和第二位置间转动，当所述支撑杆处于所述第二位置时，所述支撑杆的长度方向与所述底座的顶面垂直，当所述支撑杆处于所述第一位置时，所述矫正夹具位于所述容纳腔内。5.根据权利要求4所述的掩膜板载台，其特征在于，所述第二开口包括长条槽和连接在所述长条槽一端的端部孔，所述长条槽的长度方向与所述支撑杆的一端转动所绕的转动轴垂直，所述支撑杆在所述底座的顶面的投影位于所述长条槽内，所述端部孔用于供所述L型连接杆和所述压合盘在所述支撑杆转动时穿过。6.根据权利要求4所述的掩膜板载台，其特征在于，所述矫正夹具还包括用于带动所述支撑杆转动的动力单元，所述动力单元与所述支撑杆连接。7.根据权利要求6所述的掩膜板载台，其特征在于，所述动力单元包括电机，所述电机设置在所述容纳腔内，所述电机的输出轴与所述支撑杆的转动轴同轴连接。8.根据权利要求6所述的掩膜板载台，其特征在于，所述动力单元包括伸缩缸和安装座，所述支撑杆的一端所绕的转动轴固定在所述安装座上，所述伸缩缸的一端可转动连接在所述容纳腔的底部上，所述伸缩缸的另一端可转动连接在所述支撑杆的中部，当所述伸缩缸伸长到第一长度时，所述支撑杆处于所述第二位置，当所述伸缩缸缩短到第二长度时，所述支撑杆处于所述第一位置。9.根据权利要求6所述的掩膜板载台，其特征在于，所述支撑杆为可伸缩杆。10.根据权利要求9所述的掩膜板载台，其特征在于，所述掩膜板载台还包括控制单元，所述控制单元用于在收到第一指令时，控制所述动力单元带动所述支撑杆从所述第一位置转动到所述第二位置，并在所述支撑杆处于所述第二位置时，控制所述支撑杆缩短；在收到第二指令时，控制所述支撑杆伸长，并在所述支撑杆伸长后，控制所述动力单元带动所述支撑杆从所述第二位置转动到所述第一位置。11.根据权利要求6所述的掩膜板载台，其特征在于，所述容纳腔内还设置有滑道，所述滑道从所述第二开口的下方延伸到所述底座的中部，所述矫正夹具可滑动的安装在所述滑道上。12.根据权利要求2所述的掩膜板载台，其特征在于