掩膜装置及蒸镀设备.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115896689A(43)申请公布日2023.04.04(21)申请号202211449309.X(22)申请日2022.11.18(71)申请人乐金显示光电科技（中国）有限公司地址510530广东省广州市高新技术产业开发区科学城开泰大道59号(72)发明人许灿宏(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332专利代理师杨亚茹(51)Int.Cl.C23C14/04(2006.01)C23C14/24(2006.01)C23C14/54(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图6页(54)发明名称掩膜装置及蒸镀设备(57)摘要本发明公开一种掩膜装置及蒸镀设备，其中，掩膜装置包括掩膜版、挡板机构、检测件和第一控制器，掩膜版贯穿设置有第一开口，第一开口内设有多个掩膜条，并形成有多个蒸镀区域，挡板机构设置在掩膜版的下表面，挡板机构包括底座、驱动件和挡板，底座设置有与第一开口连通的第二开口，第二开口的侧壁设置有安装槽，驱动件和挡板均设置在安装槽内，驱动件与挡板连接，检测件和驱动件均与第一控制器连接。本发明的掩膜装置能够通过检测件检测玻璃基板是否破裂和是否脱落，在玻璃基板脱落前，挡板能够自动伸出安装槽外并封堵第二开口，以承接掉落的玻璃基板，从而防止玻璃基板掉落在蒸镀设备内，无需停机清理玻璃基板，有利于提高生产效率。CN115896689ACN115896689A权利要求书1/2页1.一种掩膜装置，其特征在于，包括：掩膜版，所述掩膜版贯穿设置有第一开口，所述第一开口内设置有多个掩膜条，并形成有多个蒸镀区域；检测件，所述检测件用于检测玻璃基板是否出现破裂和是否脱落；挡板机构，所述挡板机构设置在所述掩膜版的下表面，所述挡板机构包括底座、驱动件和挡板，所述底座设置有与所述第一开口连通的第二开口，所述第二开口的侧壁设置有安装槽，所述驱动件和所述挡板均设置在所述安装槽内，所述驱动件与所述挡板连接，以使所述挡板能伸出所述安装槽外并封堵所述第二开口；第一控制器，所述检测件和所述驱动件均与所述第一控制器连接。2.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述驱动件和所述挡板通过传动件连接，所述传动件包括相啮合的齿轮和齿条，所述齿条的长度沿所述挡板的移动方向延伸，所述驱动件与所述齿轮连接，所述齿条靠近所述第二开口的一端与所述挡板连接。3.根据权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于，所述安装槽内设置有第一导轨，所述第一导轨的长度沿所述挡板的移动方向延伸，所述齿条滑动设置在所述第一导轨内。4.根据权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于，所述底座设置有滑槽，所述滑槽的长度沿所述挡板的移动方向延伸，所述挡板凸出设置有凸部，所述凸部滑动设置在所述滑槽内。5.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述底座设置有第二导轨和滑块，所述第二导轨的长度沿所述挡板的移动方向延伸，所述滑块与所述驱动件连接，以使所述滑块滑动设置在所述第二导轨上，所述挡板包括多个活动板，多个所述活动板首尾相连形成可折叠的所述挡板，所述挡板的一端活动设置在所述安装槽的槽壁上，另一端与所述滑块连接，以驱使所述挡板展开或折叠。6.根据权利要求1至5任一项所述的掩膜装置，其特征在于，所述底座设置有相对的两个所述安装槽，每个所述安装槽内均设置有一个所述挡板机构，两个所述挡板机构中的一个所述挡板设置有凸起，两个所述挡板机构中的另一个所述挡板设置有卡槽，所述凸起能插设在所述卡槽内，以使两个所述挡板拼接并封堵所述第二开口。7.根据权利要求1至5任一项所述的掩膜装置，其特征在于，所述检测件包括声波传感器和红外传感器，所述声波传感器和所述红外传感器均设置在所述掩膜版上，所述声波传感器用于检测所述玻璃基板是否脱落，所述红外传感器用于检测所述玻璃基板是否破裂。8.一种蒸镀设备，包括对位腔室、蒸镀腔室和输送机构，其特征在于，还包括如权利要求1至7任一项所述的掩膜装置，所述输送机构用于将所述掩膜装置从所述对位腔室输送至蒸镀腔室内。9.根据权利要求8所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括第二控制器，所述对位腔室内设置有充电装置，所述充电装置位于所述掩膜装置输送区域的下方，所述挡板机构的下方设置有充电接口，所述充电装置包括本体和升降机构，所述第二控制器与所述升降机构连接，所述升降机构与所述本体连接，以驱使所述本体与所述充电接口连接。10.根据权利要求9所述的蒸镀设备，其特征在于，所述对位腔室内还设置有对位组件，所述对位组件包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件和所述第二限位件分别设置在垂直于所述掩膜装置输送方向的相对两侧，所述第一限位件和所述第二限位件能分别抵2CN115896689A权利要求书2/2页接在所述掩膜装置的相对两侧，以使所述本体与所述充电接口