基板传送装置以及湿式设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107364717A(43)申请公布日2017.11.21(21)申请号201710621171.X(22)申请日2017.07.27(71)申请人武汉华星光电技术有限公司地址430070湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋(72)发明人施杰(74)专利代理机构深圳市铭粤知识产权代理有限公司44304代理人孙伟峰黄进(51)Int.Cl.B65G49/06(2006.01)B08B13/00(2006.01)G03F7/20(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称基板传送装置以及湿式设备(57)摘要本发明公开了一种基板传送装置，其包括承载平台和连接在所述承载平台上的传动机构和导向机构，所述传动机构设置在所述承载平台底部上，用于将基板沿第一方向传送；所述导向机构设置于所述传动机构两侧，用于向传送中的基板的两侧施加作用力，对所述基板的传送方向进行限位纠偏；其中，所述导向机构包括第一连接支架和导向轮，所述第一连接支架的一端与所述承载平台连接，另一端通过弹性件与所述导向轮连接，所述弹性件在所述第一连接支架的长度方向上可伸缩。本发明还公开了一种湿式设备，其包括上述的基板传送装置。CN107364717ACN107364717A权利要求书1/1页1.一种基板传送装置，其特征在于，包括承载平台和连接在所述承载平台上的传动机构和导向机构，所述传动机构设置在所述承载平台底部上，用于将基板沿第一方向传送；所述导向机构设置于所述传动机构两侧，用于向传送中的基板的两侧施加作用力，对所述基板的传送方向进行限位纠偏；其中，所述导向机构包括第一连接支架和导向轮，所述第一连接支架的一端与所述承载平台连接，另一端通过弹性件与所述导向轮连接，所述弹性件在所述第一连接支架的长度方向上可伸缩。2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述导向轮包括滚轮、轴承和滑块，所述滚轮套设在所述轴承上，所述轴承固定连接到所述滑块，所述滑块可滑动地连接在所述第一连接支架上，所述弹性件的一端连接所述第一连接支架，另一端连接所述滑块。3.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述滑块呈中空的环状结构，所述滑块从所述第一连接支架的末端套设在所述第一连接支架上。4.根据权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，所述第一连接支架中设置有沿其长度方向延伸的行走槽，所述轴承通过一柱状连接件固定连接到所述滑块，所述柱状连接件从所述轴承上方贯穿所述轴承、第一连接支架和滑块，所述柱状连接件贯穿所述第一连接支架的部分位于所述行走槽中。5.根据权利要求4所述的基板传送装置，其特征在于，所述柱状连接件为连接螺丝，所述轴承和所述滑块中分别设置有与所述连接螺丝相适配的螺纹孔。6.根据权利要求4所述的基板传送装置，其特征在于，所述弹性件设置在所述行走槽中，所述行走槽的内壁上设置有一孔洞，所述弹性件的一端插入到所述孔洞以连接到所述第一连接支架上，所述弹性件的另一端通过一弹力托柄连接到所述滑块。7.根据权利要求6所述的基板传送装置，其特征在于，所述弹力托柄包括第一横向连接部和第二横向连接部和以及连接所述第一横向连接部、第二横向连接部的竖向连接部；所述第一横向连接部在所述第一连接支架的第一表面上连接到所述滑块，所述第二横向连接部在所述第一连接支架的第二表面上连接到所述滑块，所述竖向连接部在所述行走槽中贯穿所述第一连接支架，所述弹性件的另一端连接到所述竖向连接部上；其中，所述第一表面和所述第二表面是相对的两个表面。8.根据权利要求1-7任一所述的基板传送装置，其特征在于，所述弹性件为弹簧。9.根据权利要求1-7任一所述的基板传送装置，其特征在于，所述导向机构还包括第二连接支架，所述第二连接支架包括相互连接的第一连接部和第二连接部，所述第一连接部沿第二方向延伸，所述第一连接部连接到所述承载平台的侧壁上；所述第二连接部沿第三方向延伸，所述第一连接支架的一端连接到所述第二连接部，并且所述第一连接支架沿第三方向延伸。10.一种湿式设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一所述的基板传送装置。2CN107364717A说明书1/5页基板传送装置以及湿式设备技术领域[0001]本发明涉及液晶显示器制造过程中的生产设备，具体是一种基板传送装置，还涉及包含所述基板传送装置的湿式设备。背景技术[0002]薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD，ThinFilmTransistor-LiquidCrystalDisplay)工艺可分为三大流程，第一段为阵列基板及彩膜基板的工艺，第二段为配向、液晶填充与封合面板工艺；第三段则为偏光片、背光片与面板组装的液晶显示模块。其中，阵列基板和彩膜基板的工艺中包含多个清洗、