基板传送装置、基板传送设备及其拆卸方法.pdf
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基板传送装置、基板传送设备及其拆卸方法.pdf
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基板传送装置及基板传送方法.pdf
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玻璃基板传送装置及其操作方法与玻璃基板传送系统.pdf
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成膜装置、基板传送装置、基板传送方法及电子器件的制造方法.pdf
本发明提供一种能够应对基板的大型化的成膜装置、基板传送装置、基板传送方法及电子器件的制造方法。成膜装置具备:对基板进行成膜的成膜室;传送基板的第一传送机构;以及将在第一位置从第一传送机构接收的基板向第二位置传送的第二传送机构。第二传送机构在支承有基板的状态下旋转,由此以使基板在第二位置成为进行成膜时的朝向的方式传送基板。