基板传送装置、传送基板的方法.pdf
雨巷****怡轩
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基板传送装置及基板传送方法.pdf
本发明提供一种基板传送装置及基板传送方法。本发明的基板传送装置包括托盘(1)、设于数个轴(21)上的数个传送齿轮(2)、数个升降杆(3);托盘(1)上设有凹槽(11),凹槽(11)底部设有数个通孔(12),托盘(1)底部设有锯齿(13);数个升降杆(3)可穿过数个通孔(12)上升与下降;数个传送齿轮(2)与锯齿(13)相啮合;从而通过数个轴(21)带动数个传送齿轮(2)转动,并通过数个传送齿轮(2)与锯齿(13)之间的啮合实现对托盘(1)的传送;降低了基板传送过程中破片的风险,提升了产品良率与设备的综合效
基板传送装置、传送基板的方法.pdf
本发明涉及一种基板传送装置,包括用以传送基板的传送轮,还包括根据基板尺寸控制所述传送轮移动至基板无效像素区对应的位置的移动结构。本发明还涉及一种传送基板的方法。本发明有益效果是:传送轮与基板的无效像素区接触以对基板进行传送,避免基板被传送轮划伤而引起的产品不良。
基板传送装置、基板传送设备及其拆卸方法.pdf
本发明涉及基板传送技术领域,公开了一种基板传送装置、基板传送设备及其拆卸方法。基板传送装置包括多个基板传送单元,每个基板传送单元包括旋转轴,固定轴、套设于旋转轴和固定轴的多个滚轮以及锁定结构,其中:旋转轴设置于多个滚轮的中心,多个滚轮可绕旋转轴转动,且可沿旋转轴的长度方向移动;固定轴包括固定轴本体以及凸出固定轴本体的多个定位凸块,定位凸块与滚轮一一对应设置,固定轴设置于多个滚轮的中心与边缘之间;滚轮具有避让定位凸块的避让位以及与避让位连通的限位槽,定位凸块可在分别转动至与其对应设置的滚轮的避让位后,限位于
基板传送装置.pdf
本发明提供一种基板传送装置,包括多个相互平行的转轴,每一所述转轴上分别装配一整体式螺旋形的滚轮;所述转轴用于带动所述整体式螺旋形的滚轮转动,所述整体式螺旋形的滚轮用于承载基板并带动所述基板朝所述转轴的转动方向的切向移动。该基板传送装置能够使基板残材掉落或使基板残材移至接触不到基板的位置,避免基板残材划伤基板表面,提升最终制得的显示面板的产品品质。
成膜装置、基板传送装置、基板传送方法及电子器件的制造方法.pdf
本发明提供一种能够应对基板的大型化的成膜装置、基板传送装置、基板传送方法及电子器件的制造方法。成膜装置具备:对基板进行成膜的成膜室;传送基板的第一传送机构;以及将在第一位置从第一传送机构接收的基板向第二位置传送的第二传送机构。第二传送机构在支承有基板的状态下旋转,由此以使基板在第二位置成为进行成膜时的朝向的方式传送基板。