硅芯拉制操作规程.doc

硅芯拉制操作规程
硅芯操作人员应经专业技术培训，并经考试合格后才能上岗进行操作。
操作人员上班时必须按规定正确使用劳动保护用品，严格遵守技术操作规程，不得违规操作。
设备启动前，先检查硅芯炉的接地情况，保证有良好的接地，同时检查设备运行记录，确认设备和管道的阀门处于正常状态。
打开上炉门，用脱脂纱布沾上分析纯的乙醇擦净炉膛、上轴和籽晶头，关闭并拧紧上炉门。
打开下炉门，用脱脂纱布沾上分析纯的乙醇擦净炉膛、窥视镜、高频线圈、下轴、籽晶夹头、提拉头和硅芯料基座卡盘。
戴上洁净手套将硅芯料装入基座卡盘中，经检查硅芯料装直后，关闭并拧紧下炉门。
操作传动机构，下降上轴籽晶处于感应线圈中间，并接近（稍微高于）线圈的预热位置。
关闭炉门放气阀，合上真空泵电源开关，打开真空阀对炉膛进行抽真空。
打开高频电源冷却水阀门，调节高频输出功率至“0”位后，合上高频电源开关预热高频电源。
当真空度显示为3pa时，将上、下炉门再紧一遍，打开炉体冷却水阀和加热线圈冷却水阀，保证水压在0.12-0.18MPa。
当真空度显示为3pa时，关闭真空阀和真空泵，打开氩气进气阀，调节氩气流量计向炉膛内充入氩气至真空表为0.01MPa时，关闭氩气进气阀，再打开真空阀和真空泵抽真空，当真空度显示为3Pa时关闭真空阀和真空泵，打开氩气进气阀，调节氩气流量计向炉膛内充氩气至真空表为0.01-0.02MPa。
炉膛内通入氩气正常后，对高频电源送上高压，并调节一定的功率输出来预热籽晶，籽晶被加热到红热状态时，升起上轴，让籽晶末端熔成一小球。
下轴上升，置基座硅棒顶端与线圈距离2-3mm处，上轴下降，使小熔球与基座硅棒相接触，利用籽晶末端小熔球预热基座硅棒，直到硅棒达到红热状态时，缓慢增加高频输出功率，使硅棒顶端熔透后把籽晶和基座硅棒熔融接在一起，待熔区平稳后，进行拉制硅芯。
调节上轴提拉速度、下轴供料速度、加热功率，使拉制的硅芯直径稳定进行。
拉制大头：降低上轴提拉速度，调节下轴供料速度、加热功率，使其拉制成直径约为15-18mm，长度约为18-20mm的大头。
停炉取硅芯：关闭高频加热,10分钟后关闭氩气进气口阀（流动气氛法使用，保压法则不需要），启动真空泵，打开真空阀排气，当真空度显示为3Pa时，松动上下炉门拧手，关闭真空泵和真空阀。打开放气阀将空气注入，打开上、下炉门，取出硅芯。
停车：非连续开炉时，断开真空计真空泵，电控柜和高频柜电源开关，停炉待15分钟后，关闭加热线圈、炉体和冷却水阀门。
拉制硅芯一般事故处理:
断电
硅芯拉制过程中，若突然断电，将高频输出功率调到“0”位，关闭高频电源，将上轴拉速和下轴升速降至“0”位（带继电器的硅芯炉控制柜使用，电脑触摸屏的硅芯炉控制柜则不需要），关闭控制电源，关闭冷却水阀门，再来电时，按有关规定操作进行。
断冷却水
硅芯拉制过程中出现突然停水，应立即将高频输出功率调到“0”位，停止上轴提升、下轴供料及下轴旋转，关闭控制电源，关闭冷却水控制阀门，待水压正常后按有关操作进行。
熔区结晶
硅芯拉制过程中，当熔区表面出现结晶从而使上下轴连接在一起，应立即停止上轴提升、下轴供料及下轴旋转，若结晶过于严重，则还应将高频输出功率调到“0”位，关闭控制电源，待冷却一段时间后开炉，重新装炉拉制。
熔区流跨
硅芯拉制过程中，熔区温度过高、下轴供料过快、熔区产生硅跳从而导致流跨，使之拉制中断，此时应立即停止上轴提升、下轴供料及下轴旋转，将高频输出功率调到“0”位，关闭控制电源，待冷却一段时间后开炉，重新装炉拉制。
设备在运行过程中不得对设备进行检修工作，在运行过程中遇到突然停电或断电的情况下，操作人员应立即关闭设备的电源和水气阀门。
设备在运行过程中发生紧急异常情况危急人身和设备安全时，操作人员应紧急停车，并应立即报告工段长和值班调度。
操作完毕后，及时清扫环境卫生，使环境达到10万级洁净厂房的要求。