一炉次中多次拉制多根硅芯的硅芯炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN101892519A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CNCN101892519101892519A(43)申请公布日2010.11.24(21)申请号201010230525.6(22)申请日2010.07.20(71)申请人西安理工晶体科技有限公司地址710077陕西省西安市高新区锦业路69号B区(72)发明人董淑梅王俊辉王建春宋艳玲原洛渭王一强吴斌李春蕊贾志华刘凯薛武鹏(74)专利代理机构西安弘理专利事务所61214代理人罗笛(51)Int.Cl.C30B28/10(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称一炉次中多次拉制多根硅芯的硅芯炉(57)摘要本发明公开的一炉次中多次拉制多根硅芯的硅芯炉，在机架中设有下传动装置和水冷却装置，机架上安装有下炉室和槽路滑车，槽路滑车上设有高频槽路，下炉室内设有充气装置、高频电极及感应加热组件、抽空装置，高频电极及感应加热组件与高频槽路连接；下炉室与上炉室连通，下炉室与上炉室中设有贯通上下的导向钢丝，导向钢丝上设有导向架，导向架上装有籽晶卡头座及籽晶卡头，上炉室的上端设置有籽晶抓卸及转盘分度装置，上炉室的上方设置上传动装置，上炉室与上传动之间设有过渡副室，上传动装置与籽晶卡头座通过软轴连接。本发明的硅芯炉，实现了一炉次拉制15-18根硅芯，提高了硅芯的生产效率，降低了多晶硅生产的成本。CN108925ACN101892519ACCNN110189251901892520A权利要求书1/2页1.一种一炉次中多次拉制多根硅芯的硅芯炉，其特征在于：机架（10）上安装有下炉室（5）和槽路滑车（12），槽路滑车（12）上设置有与高频电源相连接的高频槽路（13），下炉室（5）内部设置有充气装置（6）、高频电极及感应加热组件（7）、抽空装置（8），其中的充气装置（6）与供氩气装置连接，高频电极及感应加热组件（7）与高频槽路（13）连接，高频电极及感应加热组件（7）包括高频感应加热器（25）和高频电极组件（24），抽空装置（8）与真空泵（14）连接；下炉室（5）向上与上炉室（4）连通，下炉室（5）与上炉室（4）中设置有贯通上下的导向钢丝（18），导向钢丝（18）上设置有能够上下滑动的籽晶卡头座（20），上炉室（4）的上端设置有籽晶抓卸及转盘分度装置（3），上炉室（4）的上表面设置有过渡副室（2），过渡副室（2）的上方设置有上传动装置（1），上传动装置（1）通过软轴（17）与籽晶卡头座（20）连接，籽晶卡头座（20）与籽晶卡头（21）挂接，籽晶卡头（21）上的籽晶头与高频感应加热器（25）中的硅芯拉制孔（31）垂直对应；在机架（10）中还设置有与下炉室（5）连接的下传动装置（9）和水冷却装置（11）。2.根据权利要求1所述的一炉次中多次拉制多根硅芯的硅芯炉，其特征在于：所述籽晶抓卸及转盘分度装置（3）的结构是，包括设置在上炉室（4）上盖上表面的转盘分度控制装置（19），以及位于上炉室（4）内部的分度转盘（22），转盘分度控制装置（19）和分度转盘（22）同轴固定连接，转盘分度控制装置（19）中的步进电机与控制系统连接；分度转盘（22）上沿圆周设有一个硅芯拉制位（26）、两个籽晶卡头放置位（27）、两个硅芯放置位（29），共有五个工位。3.根据权利要求1所述的一炉次中多次拉制多根硅芯的硅芯炉，其特征在于：所述上传动装置（1）包括两套结构相同的软轴卷扬机构，每个软轴卷扬机构包括一伺服电机，伺服电机通过涡轮蜗杆及花键轴与软轴（17）连接，两套提升机构按照快、慢速分开，与控制系统分别连接；软轴卷扬机构中还设置有软轴（17）的上、下限位开关。4.根据权利要求1所述的一炉次中多次拉制多根硅芯的硅芯炉，其特征在于：所述下传动装置（9）的结构是，设有快、慢速两套传动系统，每套传动系统均包括一伺服电机，伺服电机与涡轮蜗杆减速器、滚动导轨、滚珠丝杠、原料棒依次连接，两个伺服电机与控制系统分别连接。5.根据权利要求1所述的一炉次中多次拉制多根硅芯的硅芯炉，其特征在于：所述上炉室（4）设有上门，上门开有观察窗，上炉室在转盘高度设有摄像头及配套的上炉室灯。6.根据权利要求1所述的一炉次中多次拉制多根硅芯的硅芯炉，其特征在于：所述下炉室（5）设有高频接口以及下充气咀、压力表咀、下炉室灯孔，高频电极及感应加热组件（7）与高频槽路（13）通过该高频接口连接；下炉室（5）设置有下炉门，下炉门上开有观察窗，下炉室（5）高频接口高度处左右设有观察窗。7.根据权利要求1所述的一炉次中多次拉制多根硅芯的硅芯炉，其特征在于：所述的导向钢丝（18）上，与高频电极及感应加热组件（7）高度相应的位置上套装有陶瓷套（16），陶瓷套（16）的上下端分别