П形硅芯拉制装置、П形硅芯拉制方法以及П形硅芯.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111005070A(43)申请公布日2020.04.14(21)申请号201911414853.9C01B33/035(2006.01)(22)申请日2019.12.31(71)申请人亚洲硅业(青海)股份有限公司地址810000青海省西宁市城东区经济技术开发区金硅路1号申请人青海省亚硅硅材料工程技术有限公司(72)发明人张孝山汪成洋陈斌甘易武冉胜国郑连基(74)专利代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)11463代理人王闯(51)Int.Cl.C30B28/10(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图6页(54)发明名称П形硅芯拉制装置、П形硅芯拉制方法以及П形硅芯(57)摘要本发明提供一种П形硅芯拉制装置、П形硅芯拉制方法以及П形硅芯。所述П形硅芯拉制装置包括：母料固定底座、线圈、硅芯夹持机构；所述母料固定底座与所述线圈沿硅芯拉制方向依次设置；所述硅芯夹持机构包括多个夹持臂以及与所述多个夹持臂均连接的转轴，所述多个夹持臂能够绕所述转轴旋转；所述多个夹持臂包括第一夹持臂与第二夹持臂；并且，所述硅芯夹持机构能够沿硅芯拉制方向移动。本发明的П形硅芯拉制装置能够通过一次拉制过程实现一整根П形硅芯的拉制，拉制得到的П形硅芯为一体结构，应用于多晶硅生产时，直接安装于还原炉的炉底即可，不需要在还原炉中进行硅芯搭接，也解决了硅芯搭接横梁造成的各种倒炉、虚接问题。CN111005070ACN111005070A权利要求书1/1页1.一种П形硅芯拉制装置，其特征在于，包括：母料固定底座、线圈、硅芯夹持机构；所述母料固定底座与所述线圈沿硅芯拉制方向依次设置；所述硅芯夹持机构包括多个夹持臂以及与所述多个夹持臂均连接的转轴，所述多个夹持臂能够绕所述转轴旋转；所述多个夹持臂包括第一夹持臂与第二夹持臂；并且，所述硅芯夹持机构能够沿硅芯拉制方向移动。2.如权利要求1所述的П形硅芯拉制装置，其特征在于，还包括旋转电机，所述多个夹持臂在所述旋转电机的驱动下绕所述转轴旋转。3.如权利要求1所述的П形硅芯拉制装置，其特征在于，所述多个夹持臂还包括第三夹持臂；优选的，所述多个夹持臂均为可伸缩的夹持臂。4.一种П形硅芯拉制方法，使用如权利要求1-3任一项所述的П形硅芯拉制装置实现，其特征在于，包括：在所述母料固定底座上固定硅芯母料，使用线圈对所述硅芯母料进行加热，使所述硅芯母料的顶部熔融；所述第一夹持臂携带籽晶通过所述线圈后插入所述硅芯母料顶部的熔融区向上提升拉制，得到第一线性段；所述第一夹持臂朝与硅芯拉制方向非平行的方向移动，使新拉出的硅芯段向一侧发生弯曲，形成弯曲段；采用第二夹持臂夹持于所述弯曲段与所述硅芯母料顶部的连接处，向上提升拉制，得到第二线性段，得到П形硅芯。5.如权利要求4所述的П形硅芯拉制方法，其特征在于，所述弯曲段呈弧形。6.如权利要求5所述的П形硅芯拉制方法，其特征在于，所述弯曲段呈半圆形。7.如权利要求6所述的П形硅芯拉制方法，其特征在于，制备所述弯曲段的过程中，采用第三夹持臂辅助第一夹持臂进行拉制。8.如权利要求7所述的П形硅芯拉制方法，其特征在于，采用第三夹持臂辅助第一夹持臂进行拉制的过程为：所述第一夹持臂首先拉制硅芯形成具有1/4圆形状的第一弯曲结构，之后第三夹持臂夹持于所述第一弯曲结构与所述硅芯母料顶部的连接处，朝所述第一弯曲结构所在的方向移动，形成具有1/4圆形状的第二弯曲结构，所述第一弯曲结构与所述第二弯曲结构共同构成所述弯曲段。9.如权利要求4所述的П形硅芯拉制方法，其特征在于，同时实现多根П形硅芯的拉制，所述夹持臂在拉制时同时夹持多根硅芯，所述线圈上设有多个拉制孔，所述多个硅芯分别从所述多个拉制孔中通过。10.一种П形硅芯，其特征在于，由权利要求3-9所述的П形硅芯拉制方法拉制而成，所述П形硅芯包括第一线性段、弯曲段以及第二线性段，所述第一线性段与所述第二线性段分别位于所述弯曲段的两侧，并且分别与所述弯曲段连接。2CN111005070A说明书1/6页П形硅芯拉制装置、П形硅芯拉制方法以及П形硅芯技术领域[0001]本发明涉及多晶硅生产领域，尤其涉及一种П形硅芯拉制装置、П形硅芯拉制方法以及П形硅芯。背景技术[0002]多晶硅是单质硅的一种形态，熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。[0003]目前，在西门子法生产多晶硅的过程中硅芯搭接技术是一项非常重要的技术，它主要应用于多晶硅生产的一个环节，即还原反应过程。所述的还原反应过程的原理是：还原反应是在一个密闭的还原炉中进行的，在装炉前先在还原炉内用硅