一种硅片双面清洗机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108091597A(43)申请公布日2018.05.29(21)申请号201810021342.X(22)申请日2018.01.10(71)申请人苏州聚晶科技有限公司地址215000江苏省苏州市相城区太平街道聚金工业坊顺乐路(72)发明人姜涛阳军吴会旭李钊(74)专利代理机构苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙)32268代理人李先锋(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L21/687(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图2页(54)发明名称一种硅片双面清洗机(57)摘要本发明公开了一种硅片双面清洗机，其特征在于包括箱体、支架、第一气缸、斜面推头、连接杆、放料板、避让槽、支撑夹紧机构、固定座、第二气缸、滑动板、支座、第一伺服电机、第一齿轮、转轴、第二齿轮、夹爪气缸、自清洗机构、第二伺服电机、丝杠、进给螺母、滑座、水箱、针型喷头，第一气缸带动斜面推头下移将硅片夹紧，第二伺服电机驱动针型喷头对硅片上表面清洗，自清洗机构工作将用于夹持的垫板上的灰尘去除，夹爪气缸带动自清洗机构将硅片夹紧，第一伺服电机驱动夹爪气缸翻转180°，第二伺服电机驱动针型喷头对硅片上表面清洗。该装置结构简单，自动将硅片托起、夹紧，同时，能将硅片翻转180°进行双面清洗，有效提高清洗效率及清洗质量。CN108091597ACN108091597A权利要求书1/2页1.一种硅片双面清洗机，其特征在于包括箱体、支架、第一气缸、斜面推头、连接杆、放料板、避让槽、支撑夹紧机构、固定座、第二气缸、滑动板、支座、第一伺服电机、第一齿轮、转轴、第二齿轮、夹爪气缸、自清洗机构，第二伺服电机、丝杠、进给螺母、滑座、水箱、针型喷头，所述的支架位于箱体内侧底部，所述的支架与箱体通过螺栓相连，所述的第一气缸位于支架下端右侧，所述的第一气缸与支架通过螺栓相连，所述的斜面推头位于第一气缸上端且贯穿支架，所述的斜面推头与第一气缸螺纹相连，所述的连接杆位于斜面推头上端，所述的连接杆与斜面推头螺纹相连，所述的放料板位于连接杆上端，所述的放料板与连接板螺纹相连，所述的避让槽数量为4件，沿放料板对称布置，所述的支撑夹紧机构数量为4件，沿所述支架对称布置，所述的固定座位于支架上端左侧，所述的固定座与支架通过螺栓相连，所述的第二气缸位于固定座左侧，所述的第二气缸与固定座通过螺栓相连，所述的滑动板位于支架上端左侧且位于第二气缸右侧，所述的滑动板与第二气缸螺纹相连，所述的滑动板可以沿支架左右滑动，所述的支座位于滑动板顶部，所述的支座与滑动板通过螺栓相连，所述的第一伺服电机位于支座上端左侧，所述的第一伺服电机与支座通过螺栓相连，所述的第一齿轮位于第一伺服电机右侧，所述的第一齿轮与第一伺服电机键相连，所述的转轴贯穿支座，所述的转轴与支座转动相连，所述的第二齿轮位于第一齿轮下端且被转轴贯穿，所述的第二齿轮与第一齿轮啮合相连且与转轴键相连，所述的夹爪气缸位于转轴右侧，所述的夹爪气缸与转轴通过螺栓相连，所述的自清洗机构数量为2件，分别与夹爪气缸的夹爪固连，所述的第二伺服电机位于箱体顶部左侧，所述的第二伺服电机与箱体通过螺栓相连，所述的丝杠位于第二伺服电机右侧且位于箱体顶部，所述的丝杠与第二伺服电机键相连且与箱体转动相连，所述的丝杠贯穿进给螺母，所述的进给螺母与丝杠螺纹相连，所述的滑座位于进给螺母外侧且位于箱体顶部，所述的滑座与进给螺母通过螺栓相连且与箱体滑动相连，所述的水箱位于滑座下端，所述的水箱与滑座通过螺栓相连，所述的针型喷头位于水箱下端，所述的针型喷头与水箱螺纹相连。2.如权利要求1所述的硅片双面清洗机,其特征在于所述的箱体还设有送料门，所述的送料门与箱体铰链相连。3.如权利要求1所述的硅片双面清洗机，其特征在于所述的箱体还设有废液盒，所述的废液盒位于箱体底部，所述的废液盒与箱体焊接相连。4.如权利要求3所述的硅片双面清洗机，其特征在于所述的废液盒还设有排污管，所述的排污管位于废液盒外侧，所述的排污管与废液盒螺纹相连。5.如权利要求1所述的硅片双面清洗机，其特征在于所述的支撑夹紧机构还包括导套、导杆、楔形块、弹簧、支撑杆、L形护套，所述的导套位于支架上端，所述的导套与支架通过螺栓相连，所述的导杆贯穿导套，所述的导杆可以沿导套左右滑动，所述的楔形块位于导杆外侧且位于支架上端，所述的楔形块与导杆螺纹相连且与支架通过螺栓相连，所述的弹簧位于导杆外侧且位于楔形块和导套之间，所述的支撑杆位于楔形块上端，所述的支撑杆与楔形块焊接相连，所述的L形护套位于支撑杆顶部，所述的L形护套护与支撑杆粘接相连。6.权利要求5所述的硅片双面清洗机，其特征在于所述的楔形块还设有滑轨，所述的滑轨位于支架上端且贯穿楔形块，所述的