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纳米压印装置及利用纳米压印装置制备抗蚀性薄膜的方法.pdf
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纳米压印装置及利用纳米压印装置制备抗蚀性薄膜的方法.pdf
本发明公开了一种纳米压印装置，包括压印外盒和安装于压印外盒内部的联动机构；所述压印外盒包括压印承载台和固定于压印承载台表面的支撑板和侧板；所述支撑板的表面固定有第一轴杆、第一卡条、第二轴杆和第二卡条；所述联动机构包括齿轮、连接滑块、第一连杆、第二连杆、连接条、第三连杆和压印机构，所述齿轮与连接滑块通过第一连杆相连，所述连接滑块与连接条通过第二连杆相连，所述连接条与压印机构通过第三连杆相连；本发明还公开了利用该纳米压印装置制备抗蚀性薄膜的方法，包括熔融共混、挤压造粒、纳米压印等步骤。本发明在薄膜原料中添加复
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