蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108330435A(43)申请公布日2018.07.27(21)申请号201810034119.9(22)申请日2018.01.15(30)优先权数据2017-0059992017.01.17JP2017-2389892017.12.13JP(71)申请人大日本印刷株式会社地址日本东京都(72)发明人内田泰弘松浦幸代池永知加雄(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127代理人李辉邓毅(51)Int.Cl.C23C14/04(2006.01)C23C14/24(2006.01)权利要求书3页说明书17页附图17页(54)发明名称蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法(57)摘要本发明提供蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。蒸镀掩模具备：形成有贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓。长侧面具有向内侧凹陷的第1部分，第1部分具有：位于第1面侧的第1端部；和位于第2面侧且比第1端部靠内侧的第2端部。贯通孔包括：形成于第1面侧的第1凹部；和形成于第2面侧且在孔连接部处与第1凹部连接的第2凹部。长侧面的第1部分的第1端部比孔连接部靠第1面侧。CN108330435ACN108330435A权利要求书1/3页1.一种蒸镀掩模，在该蒸镀掩模上形成有多个贯通孔，其特征在于，所述蒸镀掩模具备：形成有所述贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模在所述蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模在所述蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓，所述长侧面具有第1部分，所述第1部分包括：第1端部，其位于所述第1面侧；和第2端部，其位于所述第2面侧，且位于比所述第1端部靠内侧的位置，并且所述第1部分向内侧凹陷，所述贯通孔包括：第1凹部，其形成于所述第1面侧；和第2凹部，其形成于所述第2面侧，且在孔连接部处与所述第1凹部连接，所述长侧面的所述第1部分的所述第1端部位于比所述孔连接部靠所述第1面侧的位置。2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于，所述第1端部与所述第1面和所述长侧面相连接的第1连接部一致，所述第1连接部位于与所述第1面相同的平面上。3.根据权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于，所述第1端部位于比所述第1面和所述长侧面相连接的第1连接部靠外侧的位置，所述第1连接部位于与所述第1面相同的平面上。4.一种蒸镀掩模，在该蒸镀掩模上形成有多个贯通孔，其特征在于，所述蒸镀掩模具备：形成有所述贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模在所述蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模在所述蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓，所述长侧面具有第1部分，所述第1部分包括：第1端部，其位于所述第1面侧；和第2端部，其位于所述第2面侧，且位于比所述第1端部靠内侧的位置，并且所述第1部分向内侧凹陷，所述第1端部与所述第1面和所述长侧面相连接的第1连接部一致，所述第1连接部位于与所述第1面相同的平面上。5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，所述第1面和所述长侧面相连接的位于与所述第1面相同的平面上的第1连接部、与所述长侧面的所述第1部分的所述第1端部之间的在所述第1面的面方向上的距离为3.5μm以下。6.根据权利要求1至4中的任意一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，所述第1部分位于比通过所述第1端部和所述第2端部的假想的平面或直线靠内侧的位置。2CN108330435A权利要求书2/3页7.根据权利要求1至4中的任意一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，所述蒸镀掩模的厚度为50μm以下。8.根据权利要求1至4中的任意一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，所述第2端部与所述第2面和所述长侧面相连接的第2连接部一致，所述第2连接部位于与所述第2面相同的平面上。9.一种蒸镀掩模的制造方法，在该蒸镀掩模上形成有多个贯通孔，其特征在于，所述蒸镀掩模的制造方法具备：准备金属板的工序，所述金属板包括第1面和位于所述第1面的相反侧的第2面；和加工工序，加工所述金属板而得到所述蒸镀掩模，其中，所述蒸镀掩模具备：形成有所述贯通孔的所述第1面及所述第2面；一对长侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模在所述蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模在所述蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓，所述长侧面具有第1部分，所述第1部分包括：第1端