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本公开提供蒸镀掩模、蒸镀掩模装置、蒸镀装置以及有机器件的制造方法。本公开的实施方式的蒸镀掩模具备第1面、位于第1面的相反侧的第2面、以及2个以上的贯通孔。贯通孔包括位于第1面的第1凹部和位于第2面的第2凹部。蒸镀掩模具备:掩模第1区域,其具有表示第2面所残存的面积的比率的第1面残存率;以及掩模第2区域,其具有表示第2面所残存的面积的比率的第2面残存率,第2面残存率大于第1面残存率。