蒸镀掩模、蒸镀掩模装置、蒸镀装置以及有机器件的制造方法.pdf
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相关资料
蒸镀掩模、蒸镀掩模装置、蒸镀装置以及有机器件的制造方法.pdf
本公开提供蒸镀掩模、蒸镀掩模装置、蒸镀装置以及有机器件的制造方法。本公开的实施方式的蒸镀掩模具备第1面、位于第1面的相反侧的第2面、以及2个以上的贯通孔。贯通孔包括位于第1面的第1凹部和位于第2面的第2凹部。蒸镀掩模具备:掩模第1区域,其具有表示第2面所残存的面积的比率的第1面残存率;以及掩模第2区域,其具有表示第2面所残存的面积的比率的第2面残存率,第2面残存率大于第1面残存率。
蒸镀掩模包装体、蒸镀掩模包装方法及蒸镀掩模的制造方法.pdf
本发明提供蒸镀掩模包装体、蒸镀掩模包装方法及蒸镀掩模的制造方法,该蒸镀掩模包装体具备:承接部;与承接部对置的盖部;以及蒸镀掩模,其被配置于承接部与盖部之间,具有多个有效区域,所述有效区域形成有贯通孔。承接部具有:与盖部对置的第1对置面;和设置于第1对置面的凹部。凹部被第1挠性膜覆盖。蒸镀掩模的有效区域隔着第1挠性膜被配置于凹部上。
蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法.pdf
本发明提供蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。蒸镀掩模具备:形成有贯通孔的第1面及第2面;一对长侧面,它们与第1面和第2面连接,限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓;以及一对短侧面,它们与第1面和第2面连接,限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓。长侧面具有向内侧凹陷的第1部分,第1部分具有:位于第1面侧的第1端部;和位于第2面侧且比第1端部靠内侧的第2端部。贯通孔包括:形成于第1面侧的第1凹部;和形成于第2面侧且在孔连接部处与第1凹部连接的第2凹部。长侧面的第1部分的第1端部比孔连接部靠第1面侧。
蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法.pdf
本发明提供蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。蒸镀掩模具备:形成有贯通孔的第1面及第2面;一对长侧面,它们与第1面和第2面连接,限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓;以及一对短侧面,它们与第1面和第2面连接,限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓。长侧面具有向内侧凹陷的第1部分,第1部分具有:位于第1面侧的第1端部;和位于第2面侧且比第1端部靠内侧的第2端部。贯通孔包括:形成于第1面侧的第1凹部;和形成于第2面侧且在孔连接部处与第1凹部连接的第2凹部。长侧面的第1部分的第1端部比孔连接部靠第1面侧。
掩模装置及其制造方法、蒸镀方法.pdf
一种掩模装置及其制造方法、蒸镀方法,该掩模装置包括掩模边框、第一掩模板、第二掩模板。第一掩模板固定在掩模边框上且包括至少一个第一掩模开口;第二掩模板层叠在第一掩模板上且直接固定在掩模边框上;第二掩模板包括至少一个第二掩模开口,第二掩模开口与第一掩模开口至少部分重叠。该掩模装置可用于蒸镀有机薄膜,可提高掩模装置的平坦度,并且可有效改善清洗药液残留在第一掩模板和第二掩模板之间的不良现象。