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本发明提供蒸镀掩模包装体、蒸镀掩模包装方法及蒸镀掩模的制造方法,该蒸镀掩模包装体具备:承接部;与承接部对置的盖部;以及蒸镀掩模,其被配置于承接部与盖部之间,具有多个有效区域,所述有效区域形成有贯通孔。承接部具有:与盖部对置的第1对置面;和设置于第1对置面的凹部。凹部被第1挠性膜覆盖。蒸镀掩模的有效区域隔着第1挠性膜被配置于凹部上。