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FBAR温度传感器研究的中期报告
尊敬的评委和各位专家，我是XXX，今天给大家介绍我的研究项目——FBAR温度传感器的研究，下面是我的中期报告。
一、选题背景
随着微型化技术的飞速发展，传感器的应用越来越广泛。FBAR(共振体声表面波滤波器)是一种新型的压电传感器，具有体积小、响应速度快、精度高、易于集成等优点，近年来被广泛研究。而温度是一个非常重要的物理量，它的测量在科学研究和实际应用中都有着广泛的需求。因此，开发一种FBAR温度传感器具有很高的实用性和科研意义。
二、研究目的
本研究的目的是设计一种FBAR温度传感器，并对其性能进行测试和分析，以探索其在实际应用中的可行性。
三、研究方法
1.设计FBAR温度传感器的结构和电路图：根据FBAR的原理和特点，设计出FBAR温度传感器的结构和电路图。
2.模拟分析FBAR的温度响应特性：利用仿真软件，进行FBAR的温度响应特性的模拟分析。
3.制备FBAR温度传感器：利用微纳加工技术，在硅基底板上制备出FBAR温度传感器。
4.对FBAR温度传感器进行测试：对制备好的FBAR温度传感器进行测试，包括对其灵敏度、响应速度、稳定性和重复性等性能的测试。
四、研究进展
目前，本研究已完成了FBAR温度传感器的结构与电路图的设计和仿真分析。设计中采用了外加电极结构，能够在温度变化下产生谐振频率的变化。仿真分析结果显示，该传感器能够较好地响应温度的变化，并具有较高的灵敏度和较快的响应速度。
同时，本研究已经进行了FBAR温度传感器的制备工作，利用微纳技术制备出了FBAR结构，并进行了一定程度的测试。测试结果显示该传感器具有一定的稳定性和重复性，但在实际应用中还需要进一步的优化。
五、下一步工作
下一步，本研究将对制备好的FBAR温度传感器进行深入的性能测试，并对其进行优化。同时，本研究也将探索其在实际应用中的可行性，并进行相应的探究和分析。
六、结论
本研究旨在设计一种FBAR温度传感器，以探索其在实际应用中的可行性。目前，已完成了传感器的结构与电路图的设计和仿真分析，并进行了传感器的制备和测试工作。当前的测试结果显示该传感器具有一定的稳定性和重复性，但在实际应用中还需要进一步的优化。下一步，本研究将继续对其进行深入的性能测试，并探索其在实际应用中的使用情况。