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FBAR制备及应用研究的中期报告
本次报告为FBAR制备及应用研究的中期报告，旨在介绍研究进展情况及未来工作计划。以下为报告详细内容：
一、研究背景及目的
FBAR全称为FilmBulkAcousticResonator，即薄膜微声共振器。其基本原理为在压电材料上形成一个振荡电场，由压电效应产生的声波在压电薄膜中传播并反射，形成声谐振。FBAR应用广泛，例如在通信系统、天线、传感器等领域有着广泛的应用。
本研究的主要目的为探索FBAR的制备技术及其应用研究，以便更好地发挥其在各行各业中的作用。
二、研究进展
1.制备技术
在制备技术方面，我们采用了射频磁控溅射法制备FBAR。通过对溅射工艺参数的调整和优化，我们成功制备出了高质量的FBAR。同时，我们也在研究其他的制备方法，以便更好地满足不同领域的应用需求。
2.应用研究
在应用研究方面，我们主要探索了FBAR在无线通信和传感器领域中的应用。我们发现，FBAR在无线电频率稳定性、抗干扰性、频宽等方面有着很好的表现，并且还可以用于制作压力传感器、湿度传感器等各种类型的传感器。
三、未来工作计划
1.继续探索制备技术，提高制备FBAR的效率和质量。
2.进一步探索FBAR的应用领域，拓展其应用范围。
3.开展FBAR与其他技术相结合的研究，如FBAR与MEMS技术相结合制作传感器等。
4.加强与相关领域的合作，深入了解应用需求，进一步优化FBAR的性能。
以上即为本次报告的内容，感谢各位的关注与支持。