FBAR微质量传感器若干关键问题的研究的中期报告.docx
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FBAR微质量传感器若干关键问题的研究的中期报告尊敬的评委和专家:我是研究FBAR微质量传感器若干关键问题的研究生,现在向大家汇报一下我的中期研究进展情况。在这个项目中,我们的研究目标是设计并制造出一种新型的FBAR微质量传感器,并研究其关键问题,比如灵敏度、噪声等。具体来说,我们的主要研究内容包括以下几个方面:(1)设计并制造出新型的FBAR微质量传感器。为了达成这个目标,我们首先进行了大量的文献调研,并深入了解了FBAR微质量传感器的工作原理。基于此,我们设计出了一种新型的结构,在此基础上,进行了3D
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FBAR温度传感器研究的中期报告尊敬的评委和各位专家,我是XXX,今天给大家介绍我的研究项目——FBAR温度传感器的研究,下面是我的中期报告。一、选题背景随着微型化技术的飞速发展,传感器的应用越来越广泛。FBAR(共振体声表面波滤波器)是一种新型的压电传感器,具有体积小、响应速度快、精度高、易于集成等优点,近年来被广泛研究。而温度是一个非常重要的物理量,它的测量在科学研究和实际应用中都有着广泛的需求。因此,开发一种FBAR温度传感器具有很高的实用性和科研意义。二、研究目的本研究的目的是设计一种FBAR温度
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FBAR无线传感器集成技术研究的中期报告本报告旨在介绍FBAR无线传感器集成技术研究的中期进展。FBAR(FilmBulkAcousticResonator,薄膜声波谐振器)是一种利用压电效应在薄膜上形成声波谐振器的电子元件,具有高频率、高品质因数、低噪声等特点。由于其性能优良,在无线通信、传感、过滤、振荡等领域都有广泛应用。本研究致力于开发一种基于FBAR技术的无线传感器,可以用于监测压力、温度、湿度、流量等参数。为了实现这一目标,我们利用MEMS技术制备出了一种微型FBAR谐振器,并采用单片集成的方法