一种镀膜机.pdf
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一种镀膜机.pdf
本发明公开了一种镀膜机,包括装料机构、真空炉、传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及控制中心,装料机构设置于真空炉顶端靠近边缘处,装料机构的底部与真空炉连通;溅射靶组位于真空炉顶端且与装料机构相邻处;传动输送机构设置于真空炉内且与溅射靶组对应,传动输送机构的底端与真空炉的底部内侧可拆卸连接;真空抽吸组位于真空炉的外侧并通过管道与真空炉相通;装料机构内侧壁上设置有一加热系统;传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及加热系统均与控制中心电连接。本发明中的镀膜机分三个阶段抽真空,保证抽真空时不产生明显压差,避免粉末飞
一种镀膜机.pdf
本发明涉及一种镀膜机,包括基座,基座底部设有可固定滑轮,基座上设有壳体,壳体内部设有保温层,保温层内部形成的内腔底部设有升降台,升降台上设有转轴,转轴上设有工作台,工作台上设有夹具,内腔上设有多个等距加热器,加热器连接弧电源,弧电源连接电弧蒸发源,电弧蒸发源连接多弧耙,多弧耙连接电磁感应线圈,电磁感应线圈连接引弧针,引弧针连接振动感应器,振动感应器连接控制器,控制器上设有报警器,控制器连接反应气体管道,反应气体管道上设有截止阀,反应气体管道下侧设有惰性气体管道,惰性气体管道上设有单向阀。本发明结构简单,占
一种PECVD镀膜机.pdf
本发明提供一种PECVD镀膜机,包括用于镀膜操作的真空炉腔,真空炉腔内设有至少两个与硅片相关的工位,在硅片的装载工位上,硅片被通过平移机构装入镂空载板中,镂空载板包括多个,多个镂空载板在硅片的装载工位上下排列且等间距均布,形成硅片载具,单个镂空载板上至少设有一个镂空部位和一个安装部位,镂空部位位于镂空载板的中部,安装部位位于所述镂空载板的一侧,多个镂空载板的安装部位位于镂空载板的同一侧;本发明采用竖向送片和水平插片的方式,硅片和电极片的交替对插在真空炉腔内完成,对于镀膜过程来说,从插片到镀膜的过程,都可以
一种铜片镀膜机.pdf
本发明涉及真空镀膜设备技术领域,具体的说是一种铜片镀膜机,包括:真空镀膜机本体,所述真空镀膜机本体的前端固定连接有控制器,所述真空镀膜机本体的内部固定连接有第一电动传送带;通过设置过渡装置,当需要将带有铜片的辅助输送装置放置到真空镀膜机本体的内部时,工作人员可控制密封机构密封过渡箱,然后工作人员再控制高压气泵将过渡箱内部的气压补充正常,工作人员即可将铜片的辅助输送装置放到第二电动传送带的上表面,然后再控制高压气泵将过渡箱的内部抽至近似真空,工作人员再控制密封机构收缩至最低处,使得过渡箱与真空镀膜机本体连通
一种真空镀膜机的导电系统以及真空镀膜机.pdf
本发明公开了一种真空镀膜机的导电系统,包括转架,所述转架包括转盘,所述转盘的边沿设有外齿圈,包括侧导电装置,所述侧导电装置包括固定座、摆臂与导电齿轮,所述摆臂的一端通过弹性构件安装在固定上,所述导电齿轮与外齿圈的重合度大于1。本发明通过利用齿轮的啮合进行导电,由于导电齿轮与外齿圈的重合度大于1,所述可以保证导电齿轮与外齿圈能够连续传动,即导电齿轮与外齿圈保持接触,使得转架在转动的时候始终保持通电,从而提高转架上的产品的镀膜质量。同时本发明又提供了一种应用了上述导电系统的种真空镀膜机。利用了上述导电系统的真