一种镀膜机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106119800A(43)申请公布日2016.11.16(21)申请号201610773101.1(22)申请日2016.08.30(71)申请人北京泰科诺科技有限公司地址100000北京市昌平区崔村镇西辛峰村南6区1号(72)发明人彭建施戈李长栋田琳(74)专利代理机构北京高沃律师事务所11569代理人李娜(51)Int.Cl.C23C14/35(2006.01)C23C14/56(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称一种镀膜机(57)摘要本发明公开了一种镀膜机，包括装料机构、真空炉、传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及控制中心，装料机构设置于真空炉顶端靠近边缘处，装料机构的底部与真空炉连通；溅射靶组位于真空炉顶端且与装料机构相邻处；传动输送机构设置于真空炉内且与溅射靶组对应，传动输送机构的底端与真空炉的底部内侧可拆卸连接；真空抽吸组位于真空炉的外侧并通过管道与真空炉相通；装料机构内侧壁上设置有一加热系统；传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及加热系统均与控制中心电连接。本发明中的镀膜机分三个阶段抽真空，保证抽真空时不产生明显压差，避免粉末飞起；传动输送机构一体设置便于拆卸替换或清理，还可根据粉体颗粒的大小进行合适的振动源的调节。CN106119800ACN106119800A权利要求书1/2页1.一种镀膜机，其特征在于：包括装料机构、真空炉、传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及控制中心，所述装料机构设置于所述真空炉顶端靠近边缘处，所述装料机构的底部与所述真空炉相连通；所述溅射靶组位于所述真空炉顶端且所述溅射靶组的一侧与所述装料机构相邻，所述溅射靶组的另一侧靠近所述真空炉顶端的另一边缘处；所述传动输送机构设置于所述真空炉内且与所述溅射靶组相对应，所述传动输送机构的底端与所述真空炉的底部内侧可拆卸的连接；所述真空抽吸组位于所述真空炉的外侧并通过管道与所述真空炉相通；所述装料机构内侧壁上设置有一加热系统；所述传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及加热系统均与所述控制中心电连接。2.根据权利要求1所述的一种镀膜机，其特征在于：所述装料机构包括有两级漏斗及撒粉漏斗，所述两级漏斗包括第一漏斗与第二漏斗，所述第一漏斗位于所述第二漏斗的顶端，且所述第一漏斗与所述第二漏斗之间间隔有空隙，所述第一漏斗与所述第二漏斗通过螺杆焊接固定，所述螺杆固定在所述装料机构的内侧壁上；所述撒粉漏斗位于所述两级漏斗的底部，所述撒粉漏斗通过螺杆与所述两级漏斗固定连接，所述撒粉漏斗的底端位于所述装料机构与所述真空炉的连通处。3.根据权利要求2所述的一种镀膜机，其特征在于：所述装料机构的顶部设置有一观察窗，所述装料机构的外壁上固定设置有一单独振源，所述单独振源中的振动棒伸入所述装料机构内并与所述撒粉漏斗的相抵接。4.根据权利要求1所述的一种镀膜机，其特征在于：所述传动输送机构包括振动输送器、传粉板及隔离减震台，所述隔离减震台可拆卸的设置于所述真空炉的腔室底部，所述振动输送器通过螺栓固定在所述隔离减震台的顶端，所述振动输送器顶端固定所述传粉板；所述振动输送器、传粉板及隔离减震台为一体式设置，所述振动输送器与所述控制中心电连接。5.根据权利要求4所述的一种镀膜机，其特征在于：位于所述传粉板的末端的下方设置有接粉槽，所述接粉槽的底端固定设置在所述隔离减震台上。6.根据权利要求4所述的一种镀膜机，其特征在于：所述溅射靶组包括若干溅射靶，相邻所述溅射靶交错倾斜设置，且所述溅射靶的溅射口对应所述传粉板。7.根据权利要求1所述的一种镀膜机，其特征在于：所述真空抽吸组包括手动调节阀、第一预抽管道、第一预抽阀及机械泵，所述第一预抽管道设置于所述真空炉的腔室底端的一侧且与所述真空炉的腔室相连通，所述手动调节阀设置于所述第一预抽管道上靠近所述真空炉的一端，所述第一预抽阀设置于所述第一预抽管道上并位于远离所述真空炉的一端，所述第一预抽管道的末端与所述机械泵相连接；所述机械泵与所述控制中心电连接。8.根据权利要求7所述的一种镀膜机，其特征在于：所述真空抽吸组还包括第二预抽阀及第二预抽管道，所述第二预抽管道设置于所述真空炉的腔室底端并与所述真空炉的腔室相连通，所述第二预抽管道与所述第一预抽管道并排设置，所述第二预抽阀设置于所述第二预抽管道上，所述第二预抽管道的末端与所述第一预抽管道的末端连通后与所述机械泵相连接。9.根据权利要求8所述的一种镀膜机，其特征在于：所述第一预抽管道的管径小于所述第二预抽管道的管径。10.根据权利要求9所述的一种镀膜机，其特征在于：所述真空抽吸组还包括前级阀、分2CN106119800A权利要求书2/2页子泵及主阀，所述分子泵设置于所述真空炉的腔室的底端中部并与所述