一种晶圆流片用切割装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108922859A(43)申请公布日2018.11.30(21)申请号201811060250.9(22)申请日2018.09.12(71)申请人江苏英锐半导体有限公司地址224002江苏省盐城市经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房(72)发明人王昌华(74)专利代理机构常州市权航专利代理有限公司32280代理人袁兴隆(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L21/304(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图5页(54)发明名称一种晶圆流片用切割装置(57)摘要本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片用切割装置，其无需工作人员手按材料进行固定，提高安全效果；同时增强材料切割时的固定效果，提高使用可靠性；且方便后续对工作台上遗留的粉屑进行清洁，提高使用性；包括工作台、切割机和底座，切割机输出端上设置有切刀；还包括第一辅助件、第一调节件、第一压板、第二辅助件、第二调节件和第二压板，第一调节件设置在左滑块顶端，第二辅助件输出端与第二调节件连接；还包括第二固定件和三组第一固定件，第二固定件设置在第二压板上；还包括放置板和两组提手，工作台顶端设置有安置槽，放置板设置在安置槽内部，两组提手分别设置在放置板左右两端上。CN108922859ACN108922859A权利要求书1/2页1.一种晶圆流片用切割装置，包括工作台（1）、切割机（2）和底座（3），工作台设置在底座顶端，切割机设置在工作台顶端右半区域上，并在切割机输出端上设置有切刀（4）；其特征在于，还包括第一辅助件、第一调节件（5）、第一压板（6）、第二辅助件（7）、第二调节件和第二压板，底座顶端左前区域和左后区域上均设置有左滑槽，并在左滑槽内设置有左滑块（8），第一调节件设置在左滑块顶端，第一辅助件设置在底座上，且第一辅助件输出端与第一调节件连接，第一压板位于工作台上方，且切割机位于第一压板右侧，第一调节件与第一压板连接，底座顶端右前区域和右后区域上均设置有右滑槽，并在右滑槽内设置有右滑块（9），第二调节件设置在右滑块顶端，第二辅助件设置在底座上，且第二辅助件输出端与第二调节件连接，第二压板位于工作台上方，且切割机位于第二压板左侧，第二调节件与第二压板连接；还包括第二固定件（10）和三组第一固定件，第二固定件设置在第二压板上，并在第二压板底端左半区域上设置有第二放置槽，且第二固定件输出端位于第二放置槽内，三组第一固定件分别设置在第一压板左半区域、右半区域和中部上，并在第一压板底端左半区域、右半区域和中部处均设置有第一放置槽，且三组第一固定件输出端分别位于三组第一放置槽内；还包括放置板（11）和两组提手（12），工作台顶端设置有安置槽，放置板设置在安置槽内部，两组提手分别设置在放置板左右两端上。2.如权利要求1所述的一种晶圆流片用切割装置，其特征在于，所述第一辅助件包括两组左支板（13）和两组左伸缩电机，第二辅助件包括两组右支板和两组右伸缩电机（14），两组左支板分别设置在底座顶端左前侧和左后侧上，两组左伸缩电机分别设置在两组左支板右端，左伸缩电机的右部输出端上设置有左驱动杆（15），且左驱动杆右端与第一调节件左端连接，两组右支板分别设置在底座顶端右前侧和右后侧上，两组右伸缩电机分别设置在两组右支板左端，右伸缩电机的左部输出端上设置有右驱动杆，且右驱动杆左端与第二调节件右端连接。3.如权利要求2所述的一种晶圆流片用切割装置，其特征在于，所述第一调节件包括两组第一伸缩电机（16），第二调节件包括两组第二伸缩电机（17），两组第一伸缩电机分别设置在两组左滑块顶端，并在两组第一伸缩电机的顶部输出端上均设置有第一驱动杆，且两组第一驱动杆顶端分别与第一压板底端前后两侧连接，两组第二伸缩电机分别设置在两组右滑块顶端，并在两组第二伸缩电机的顶部输出端上均设置有第二驱动杆（18），且两组第二驱动杆顶端分别与第二压板底端前后两侧连接。4.如权利要求3所述的一种晶圆流片用切割装置，其特征在于，所述第一固定件包括第一螺纹杆（19）、第一转动块（20）和第一圆形固定板（21），第二固定件包括第二螺纹杆（22）、第二转动块（23）和第二圆形固定板（24），第一压板左半区域、右半区域和中部均设置有第一通孔，并在第一通孔内侧壁上设置有与第一螺纹杆外螺纹结构相匹配的内螺纹结构，第一螺纹杆穿过并螺装在第一通孔上，第一圆形固定板位于第一放置槽内，且第一圆形固定板顶端与第一螺纹杆底端连接，第一转动块设置在第一螺纹杆顶端，第二压板左半区域上设置有第二通孔，并在第二通孔内侧壁上设置有与第二螺纹杆外螺纹结构相匹配的内螺纹结构，第二螺纹杆穿过并螺装在第二通孔上，第二圆形固定板位于第二