一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109285784A(43)申请公布日2019.01.29(21)申请号201811208389.3(22)申请日2018.10.17(71)申请人江苏英锐半导体有限公司地址224000江苏省盐城市盐城经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房(72)发明人王昌华(74)专利代理机构常州市权航专利代理有限公司32280代理人袁兴隆(51)Int.Cl.H01L21/465(2006.01)H01L21/67(2006.01)H01L21/306(2006.01)权利要求书3页说明书9页附图6页(54)发明名称一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置(57)摘要本发明涉及晶圆生产制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，其可以使多组晶圆放置规整，防止多组晶圆相互叠放，使化学溶液在对多组晶圆进行冲洗的过程中与多组晶圆表面上的三氧化二铝和甘油混合液接触反应更加充分，提高化学刻蚀效果；其使用后的化学溶液可以进行收集储存处理，降低使用局限性；包括过渡箱、底板、顶板、左支撑板、右支撑板、左弧形板、右弧形板、左放置板、右放置板、前支撑轴、后支撑轴、带动轴、上支撑轴、左卡板、右卡板、左安装板、右安装板、两组左安装螺栓、两组右安装螺栓、收集箱、两组左滑轮、两组右滑轮、左滑轨、右滑轨、固定环、左销杆、右销杆、固定座、左弹簧和右弹簧。CN109285784ACN109285784A权利要求书1/3页1.一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，包括过渡箱（1）、底板（2）、顶板（3）、左支撑板（4）和右支撑板，左支撑板（4）和右支撑板的底端分别与底板（2）顶端的左侧和右侧连接，并且左支撑板（4）和右支撑板的顶端分别与顶板（3）帝都的左侧和右侧连接，过渡箱（1）的顶端与顶板（3）的底端连接，并且过渡箱（1）的左端与左支撑板（4）的右端上侧连接，过渡箱（1）的右端与右支撑板的左端上侧连接，过渡箱（1）的顶端连通设置有输送管，并且输送管上连通设置有增压泵，增压泵的底端与顶板（3）的顶端左侧连接，过渡箱（1）底端横向连通设置有多组出液通孔，并且多组出液通孔的底部输出端均连通设置有出液喷嘴（5），所述左支撑板（4）和右支撑板的之间横向设置有放置网板（6）；其特征在于，包括左弧形板（7）、右弧形板、左放置板（8）、右放置板、前支撑轴（9）、后支撑轴、带动轴（10）、上支撑轴（11）、左卡板（12）、右卡板、左安装板（13）、右安装板、两组左安装螺栓（14）和两组右安装螺栓，所述弧形板的左端与所述左支撑板（4）的右端中部连接，并且所述右弧形板的右端与所述右支撑板的左端中部连接，所述左弧形板（7）右端的下侧中部设置有左带动槽，并且左带动槽内部固定安装有左带动滚珠轴承，所述带动轴（10）的左端插入并固定安装至左带动滚珠轴承内部，并且所述带动轴（10）的右端自右弧形板的左端横向依次穿过右弧形板和右支撑板内部并伸出至右支撑板的右端外界，带动轴（10）的右端设置有带动电机，所述左弧形板（7）右端的上前侧和上后侧分别设置有左前固定槽和左后固定槽，并且左前固定槽和左后固定槽内部分别设置有左前滚珠轴承和左后滚珠轴承，所述右弧形板左端的上前侧和上后侧分别设置有右前固定槽和右后固定槽，并且右前固定槽和右后固定槽内部分别设置有右前滚珠轴承和右后滚珠轴承，所述前支撑轴（9）的左端插入并固定安装至左前滚珠轴承内部，并且前支撑轴（9）的右端横向插入并固定安装至右前滚珠轴承内部，所述后支撑轴的左端插入并固定安装至左后滚珠轴承内部，并且所述后支撑轴的右端插入并固定安装至右后滚珠轴承内部，所述左安装板（13）位于所述左弧形板（7）的正上方，并且左安装板（13）的左端与所述左支撑板（4）的右端连接，所述右安装板位于所述右弧形板的正上方，并且右安装板的右端与所述右支撑板的左端连接，左安装板（13）的顶端设置有左安装槽，并且所述右安装板的顶端设置有右安装槽，所述左安装槽和右安装槽的底端内壁均设置为下半圆形结构，所述左卡板（12）和右卡板的底端均设置为上半圆结构，所述左放置板（8）的底端中部与所述左卡板（12）的顶端连接，并且左放置板（8）顶端的前侧和后侧均设置有上下贯穿的左安装通孔，所述左安装板（13）顶端的前侧和后侧均设置有左安装螺纹孔，所述左卡板（12）的底端可滑动插入至左安装槽内部，并且所述两组左安装螺栓（14）的底端分别穿过两组左安装通孔内部并伸出至左放置板（8）的底端外界，所述两组左安装螺栓（14）的底端分别可插入并螺装至两组左安装螺纹孔内部，所述右放置板的底端中部与所述右卡板的顶端连接，并且右放置板顶端的前侧和后侧均设置有上下贯穿的右安装通孔，所述右安装板顶端的前侧和后侧均设置有右安装螺纹孔，所述右卡板