

一种集成电路载片装置.pdf
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一种集成电路载片装置.pdf
本发明公开一种集成电路载片装置,包括夹持平台,夹持平台顶面沿横向设有一组纵向的引脚槽;夹持平台顶面沿纵向依次间隔设有横向的第一挡板、拉板与第二挡板;第二挡板与拉板之间设有一组夹持块,每个夹持块与第二挡板之间形成对集成电路的夹持空间;每个夹持块与拉板之间分别设有纵向的夹持杆,夹持杆杆体穿过拉板与拉板滑动配合;夹持杆杆体外周还套设有夹持弹簧;第一挡板与拉板之间设有纵向的拉杆,拉杆杆体穿过第一挡板与第一挡板滑动配合,拉杆的一端与拉板固定连接、另一端连接有偏心手轮;拉杆杆体外周还套设有复位弹簧;集成电路的引脚插于
一种稳定镀膜的载片装置.pdf
本发明公开了一种用于硅片的表面镀减反射膜的稳定镀膜的载片装置,其包括:石英托架,设于该石英托架中的石墨舟片组件,该石墨组件由垂直所述石英托架轴线的石墨舟片间隔连接而成。本发明使得石墨组件的石墨舟片垂直于石英托架的轴线设置。当该载片装置送入石英炉管时,石墨舟片与石英炉管的轴线垂直,有效地避免了左右两侧石墨舟片对加热炉管热量向中心辐射的阻挡,从而保证处于石墨舟片之间的硅片减反射膜镀膜均匀和工艺的稳定性,以提升PECVD反应炉的产能。
一种自动插片机移载托片装置.pdf
本发明公开了一种自动插片机移载托片装置,包括若干个移载装置和将其连接的移载条,所述移载条为多层结构,所述移载条包括条主体,所述条主体外侧为接触部,所述条主体内侧为耐磨层,所述移载装置包括外框,所述外框内部底面设有工字板,所述工字板上方设有匚条,所述匚条两端上方设有边固定块,两个边固定块之间设有水平角度支撑架,所述水平角度支撑架的侧面设有垂直角度支撑架,所述垂直角度支撑架上方通过上弧板固定有两个轴承,所述轴承套设在槽辊的两端,所述槽辊内部设有碳纤维杆,所述耐磨层的轮廓呈半圆形,所述接触部的外圆为平面。该自动
一种硅片的载片治具及运载装置.pdf
本发明公开一种硅片的载片治具及运载装置,涉及半导体领域,解决了硅片在生产工序转移中容易崩边、产生硅落的问题。具体方案包括:底板、两个挡板、连接板和支撑杆相围合形成相邻两侧敞开的框型结构;胶垫设置于底板的上表面;胶垫的上表面倾斜,且胶垫上远离支撑杆的一侧高于靠近支撑杆的一侧,硅片可堆叠放置在胶垫上。本方案通过底板、两个挡板、连接板和支撑杆相围合形成具有相邻两侧敞开的框型结构,上表面倾斜的胶垫设置于底板上两个挡板和支撑杆相围合形成的区域内,硅片可倾斜地堆叠放置在胶垫上,硅片通过自身的重力作用倾斜朝下并抵接在支
一种集成电路撕膜机的载板上料装置.pdf
本发明涉及电子集成电路制造技术领域。本发明包括料仓组件和引料组件;引料组件位于料仓组件的侧方,与料仓组件相衔接;所述的引料组件包括立座、第二滑台组件、横移支架、夹板机构、压板机构和吸板机构;第二滑台组件通过立座水平安装在机架上,横移支架安装在第二滑台组件的移动部;夹板机构、压板机构和吸板机构依次并列布置,均连接在横移支架的侧边;本发明设置夹块夹住载板拉出的上料方式,相比机械手搬运的方式更加简单高效;设置吸板机构,防止载板在撕胶过程发生弯曲;设置压板机构能使载板顺利进入压紧轮,避免堵料现象。