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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110429048A(43)申请公布日2019.11.08(21)申请号201910598644.8(22)申请日2019.07.04(71)申请人宁波市鄞州特尔斐电子有限公司地址315153浙江省宁波市鄞州区石碶街道行春西路25号(72)发明人曲容容魏星魏芙蓉杨立慈(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)B65B69/00(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图7页(54)发明名称一种集成电路撕膜机的载板上料装置(57)摘要本发明涉及电子集成电路制造技术领域。本发明包括料仓组件和引料组件;引料组件位于料仓组件的侧方,与料仓组件相衔接;所述的引料组件包括立座、第二滑台组件、横移支架、夹板机构、压板机构和吸板机构;第二滑台组件通过立座水平安装在机架上,横移支架安装在第二滑台组件的移动部;夹板机构、压板机构和吸板机构依次并列布置,均连接在横移支架的侧边;本发明设置夹块夹住载板拉出的上料方式,相比机械手搬运的方式更加简单高效;设置吸板机构,防止载板在撕胶过程发生弯曲;设置压板机构能使载板顺利进入压紧轮,避免堵料现象。CN110429048ACN110429048A权利要求书1/2页1.一种集成电路撕膜机的载板上料装置,其特征在于,包括料仓组件(11)和引料组件(12);引料组件(12)位于料仓组件(11)的侧方,与料仓组件(11)相衔接;所述的引料组件(12)包括立座(122)、第二滑台组件(122)、横移支架(123)、夹板机构(124)、压板机构(125)和吸板机构(126);第二滑台组件(122)通过立座(122)水平安装在机架上,横移支架(123)安装在第二滑台组件(122)的移动部;夹板机构(124)、压板机构(125)和吸板机构(126)依次并列布置,均连接在横移支架(123)的侧边;所述的夹板机构(124)包括第一气缸(1241)、升降板(1242)、手指气缸(1243)、折形条(1244)和夹块(1245);第一气缸(1241)固定设置横移支架(123)上,升降板(1242)通过滑轨移动配合在横移支架(123)侧边,第一气缸(1241)的伸缩端与升降板(1242)相连接;手指气缸(1243)水平安装在升降板(1242)上,折形条(1244)安装在手指气缸(1243)的两移动端,夹块(1245)安装在折形条(1244)的下端,两个夹块(1245)相上下对应;所述的压板机构(125)包括第二气缸(1251)、连接板(1252)、直角条(1253)、下压块(1254)、光纤传感器(1255)和光纤放大器(1256);第二气缸(1251)固定设置在横移支架(123)上,第二气缸(1251)的伸缩端与连接板(1252)相连接;连接板(1252)与直角条(1253)相固定,连接板(1252)通过滑轨移动连接在横移支架(123)上,直角条(1253)的水平部下端设置有三个下压块(1254);所述的吸板机构(126)包括第三气缸(1261)、滑板(1262)、卡槽块(1263)和吸气块(1264);第三气缸(1261)固定设置在横移支架(123)上,滑板(1262)移动配合在横移支架(123)上,第三气缸(1261)的伸缩端与滑板(1262)相连接;卡槽块(1263)固定设置在滑板(1262)的下端;吸气块(1264)上端为T形块,下端为吸气盘,上端的T形块配合在卡槽块(1263)之间的槽中,通过侧方的紧定螺钉相连接。2.根据权利要求1所述的一种集成电路撕膜机的载板上料装置,其特征在于,所述的料仓组件(11)包括连接支座(111)、第一滑台部件(112)、安装台板(113)、限位挡块(114)、置料框(115)和载板(116);第一滑台部件(112)通过连接支座(111)竖直安装在机架上,安装台板(113)安装在第一滑台部件(112)的移动部;置料框(115)放置在安装台板(113)上,所述的置料框(115)两侧边板的内侧上设置有水平的通槽;所述的载板(116)设置在置料框(115)中的通槽中;所述的载板(116)包括多个电路集成电路和连接外框,电路集成电路和连接外框通过底端贴有的胶膜相连接,将胶膜撕开即可实现电路集成电路的分离。3.根据权利要求1所述的一种集成电路撕膜机的载板上料装置,其特征在于,所述的第一滑台部件(112)包括底座、电机、丝杆组件和移动架,移动架移动配合在底座上,移动架通过丝杆组件与底座相连接,丝杆组件由电机驱动。4.根据权利要求1或2或3所述的一种集成电路撕膜机的载板上料装置,其特征在于,所述的卡槽块(1263)包括对称的两块,形成一个T形的槽,卡槽块(1263)侧方设置有螺纹孔。5.根据权利要求1或2或3或4