溅镀装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102534516A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102534516A(43)申请公布日2012.07.04(21)申请号201010605265.6(22)申请日2010.12.25(71)申请人鸿富锦精密工业（深圳）有限公司地址518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号申请人鸿海精密工业股份有限公司(72)发明人王仲培(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书44页页附图附图33页(54)发明名称溅镀装置(57)摘要一种溅镀装置，包括一个本体、一个承载装置及至少一个驱动齿轮装置。该本体包括一个顶板、一个底板及一个侧壁。该承载装置包括一个与底板的上轴承座转动连接的外圈承载架、一个与底板的下轴承座转动连接的内圈承载架。该外圈承载架包括多个第一料杆，多个第一料杆均匀间隔设置且排布成一个外圈，相邻两个第一料杆间具有第一间距。该内圈承载架包括多个第二料杆，每个第二料杆的直径小于该第一间距。该多个第二料杆均匀间隔设置且排布成一个位于该外圈内且与外圈同轴的内圈。该驱动齿轮装置设置于该内圈承载架与外圈承载架之间并用于驱动该多个第一料杆与该多个第二料杆同时反向转动。该溅镀装置可以放置更多的被镀工件，提高镀膜效率。CN1025346ACN102534516A权利要求书1/1页1.一种溅镀装置，包括一个本体、一个安装于本体内的承载装置及至少一个驱动齿轮装置；所述本体包括一个顶板、一个与所述顶板相对的底板及一个连接所述顶板与底板的侧壁，所述顶板安装有一个上轴承座，所述底板安装有一个下轴承座；所述承载装置包括一个与所述上轴承座转动连接的外圈承载架及一个与所述下轴承座转动连接的内圈承载架；所述外圈承载架包括有多个垂直于所述顶板设置的第一料杆；所述多个第一料杆均匀间隔设置且排布成一个外圈，相邻两个第一料杆间具有一第一间距；所述内圈承载架包括多个垂直于所述顶板设置的第二料杆，所述每个第二料杆的直径小于所述第一间距，所述多个第二料杆均匀间隔设置且排布成一个位于所述外圈内且与外圈同轴的内圈；所述驱动齿轮装置设置于所述内圈承载架与外圈承载架之间并用于驱动所述多个第一料杆与所述多个第二料杆绕所述外圈与内圈的共同的中心轴线同时反向转动。2.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于：所述外圈承载架包括一个环形的第一环形部、与第一环形部相对的环形的第二环形部，所述多个第一料杆间隔设置于所述第一环形部与所述第二环形部之间，且每个第一料杆的两端分别与所述第一环形部与第二环形部转动连接。3.如权利要求2所述的溅镀装置，其特征在于：所述第二环形部的内圆周上设有内齿牙。4.如权利要求2所述的溅镀装置，其特征在于：所述外圈承载架还包括一个与所述第一环形部连接且位于所述多个第一料杆相背一侧的上连接架，所述上连接架设有一个位于所述第一环形部的中心轴的上枢轴，所述上枢轴用于安装至上轴承座。5.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于：所述内圈承载架包一个环形的第三环形部、一个与第三环形部相对的环形的第四环形部，所述多个第二料杆间隔设置于所述第三环形部与第四环形部之间，且每个第二料杆的两端分别与所述第三环形部与第四环形部转动连接。6.如权利要求5所述的溅镀装置，其特征在于：所述第四环形部的外圆周上设有外齿牙。7.如权利要求5所述的溅镀装置，其特征在于：所述内圈承载架还包括一个与所述第四环形部连接且位于所述多个第二料杆相背一侧的下连接架，所述下连接架设有一个位于所述第四环形部的中心轴的下枢轴，所述下枢轴用于安装至所述下轴承座。8.如权利要求6所述的溅镀装置，其特征在于：所述驱动齿轮装置包括一个上齿轮、一个下齿轮及一个穿设于上齿轮、下齿轮的中心轴位置的驱动轴，所述上齿轮与所述内齿牙啮合，所述下齿轮与上齿轮同轴设置并位于上齿轮下方，所述下齿轮与所述外齿牙啮合。9.如权利要求8所述的溅镀装置，其特征在于：所述驱动轴的一端延伸出所述本体的外部并与一个驱动马达连接。10.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于：所述侧壁上设置有靶材。2CN102534516A说明书1/4页溅镀装置技术领域[0001]本发明涉及镀膜领域，具体地，涉及一种溅镀装置。背景技术[0002]一种现有的溅镀装置包括一个本体及一个承载架，该本体呈中空圆柱状，并包括一个顶板及一个与该顶板相对的底板、及一个垂直连接该顶板与底壁的侧壁，该侧壁的内表面上设置有溅射用的靶材。该承载架包括一个与该顶板平行且靠近该顶板设置的转盘及多个用于卡持被镀工件的料杆，该多个料杆垂直于转盘设置，且排布成一个与转盘同轴的圆圈。镀膜时，靶材粒子飞向该多个料杆上的被镀工件，该转盘转动以使该多个料杆绕着该转盘的轴线转动。然而，上述转盘仅设