

溅镀装置.pdf
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溅镀装置.pdf
一种溅镀装置,包括溅镀室、溅镀传动组件、第一靶材和第二靶材。溅镀传动组件包括第一主动齿轮、第二主动齿轮、传动轨道、传动带、多个从动齿轮和多个料杆。第一主动齿轮和第二主动齿轮相邻设置。传动轨道包括环绕第一主动齿轮设置的第一轨道和环绕第二主动齿轮设置的第二轨道。传动带设置于传动轨道上且相对于传动轨道可移动。多个从动齿轮依次设置轴固于传动带,每一从动齿轮均用于在第一主动齿轮与第二主动齿轮的驱动下,在第一轨道传与第二轨道上传动。多个料杆分别设置于多个从动齿轮。第一靶材设置于第一轨道的弧心并用于向待镀工件表面溅镀第
溅镀装置.pdf
一种溅镀装置,包括一个本体、一个承载装置及至少一个驱动齿轮装置。该本体包括一个顶板、一个底板及一个侧壁。该承载装置包括一个与底板的上轴承座转动连接的外圈承载架、一个与底板的下轴承座转动连接的内圈承载架。该外圈承载架包括多个第一料杆,多个第一料杆均匀间隔设置且排布成一个外圈,相邻两个第一料杆间具有第一间距。该内圈承载架包括多个第二料杆,每个第二料杆的直径小于该第一间距。该多个第二料杆均匀间隔设置且排布成一个位于该外圈内且与外圈同轴的内圈。该驱动齿轮装置设置于该内圈承载架与外圈承载架之间并用于驱动该多个第一料
蒸镀与溅镀差异.doc
金屬鍍膜(MetalDeposition)又稱物理鍍膜(PhysicalVaporDeposition;PVD),依原理分為蒸鍍(evaporation)與濺鍍(sputtering)兩種。PVD基本上都需要抽真空:前者在10-6~10-7Torr的環境中蒸著金屬;後者則須在激發電漿前,將氣室內殘餘空氣抽除,也是要抽到10-6~10-7Torr的程度。一般的機械式抽氣幫浦,只能抽到10-3Torr的真空度,之後須再串接高真空幫浦(機械式幫浦當作接觸大氣的前級幫浦),如:擴散式幫浦(diffusionpum
一种溅镀载具及溅镀方法.pdf
本发明公开了一种溅镀载具及溅镀方法,溅镀载具包括一本体,所述本体为一平板结构,具有相对设置的工作面和底面,本体上设有多个阶梯孔,阶梯孔贯通本体的工作面到底面,阶梯孔包括从所述工作面向底面延伸的第一子通孔和第二子通孔,第一子通孔的上端面为本体的工作面,第一子通孔的下端收敛于第二子通孔的上端面,且第一子通孔的下端轮廓尺寸大于第二子通孔的上端轮廓尺寸,第二子通孔的下端面为本体的底面;溅镀载具还包括一粘着层,粘着层粘附于本体的工作面上,粘着层在阶梯孔对应的部位一一开设有通孔。本发明的溅镀载具可以有效解决溅镀制程中
溅镀载具.pdf
本发明涉及一种溅镀载具,其包括一个底座以及一呈阵列式排布在所述底座上的多个支撑座。所述溅镀载具是由质量比为9∶1的聚碳酸酯及玻璃纤维经熔融共混后模制成型。本发明溅镀载具通过采用聚碳酸酯与玻璃纤维混合后模制而成,因此,耐热性好,变形小,无静电残留,加工容易,制造成本低。