一种滚轮电极打磨装置及其打磨方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109623521A(43)申请公布日2019.04.16(21)申请号201910012834.7(22)申请日2019.01.07(71)申请人西安微电子技术研究所地址710065陕西省西安市雁塔区太白南路198号(72)发明人周婷杨瑞宁(74)专利代理机构西安通大专利代理有限责任公司61200代理人徐文权(51)Int.Cl.B24B5/14(2006.01)B24B41/00(2006.01)B24B41/06(2012.01)B24B47/26(2006.01)B24B47/20(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种滚轮电极打磨装置及其打磨方法(57)摘要本发明公开了一种滚轮电极打磨装置及其打磨方法，包括电机、打磨机构和导向条；所述电机固定设置，输出轴上同轴固定有待加工滚轮电极，输出轴下方设置有导向条，导向条的一边为斜边，斜边的垂线与待加工滚轮电极锥面平行；打磨机构的打磨部位平面与底面垂直；打磨时，打磨机构底部的侧面与导向条斜边贴合，打磨部位平面与待加工滚轮电极锥面贴合。在打磨过程中不会改变滚轮电极的锥度，而且保证了锥面的平整度，打磨后的滚轮电极表面光滑，且无异常突起、凹坑，并且降低了平行缝焊过程中打火现象发生率，有效提高了待加工滚轮电极打磨修复的质量，提高了集成电路的封装成品率，提高了滚轮电极打磨的效率，节省了集成电路封装的时间。CN109623521ACN109623521A权利要求书1/1页1.一种滚轮电极打磨装置，其特征在于，包括电机(3)、打磨机构和导向条(2)；所述电机(3)固定设置，输出轴上同轴固定有待加工滚轮电极(1)，输出轴下方设置有导向条(2)，导向条(2)的一边为斜边，斜边的垂线与待加工滚轮电极(1)锥面平行；打磨机构的打磨部位平面与底面垂直；打磨时，打磨机构底部的侧面与导向条(2)斜边贴合，打磨部位平面与待加工滚轮电极(1)锥面贴合。2.根据权利要求1所述的一种滚轮电极打磨装置，其特征在于，还包括固定装置，固定装置包括水平板(4)和移动板(6)，移动板(6)高于水平板(4)且与其平行设置，电机(3)固定设置在水平板(4)上，其输出轴位于移动板(6)上方；打磨时，导向条(2)与打磨机构均设置在在移动板(6)上。3.根据权利要求2所述的一种滚轮电极打磨装置，其特征在于，移动板(6)上设置有两排与电机(3)输出轴平行的若干导向条固定孔，对应的两个导向条固定孔之间的连线与导向条(2)的斜边平行。4.根据权利要求2所述的一种滚轮电极打磨装置，其特征在于，水平板(4)和移动板(6)之间设置有平台板(5)，平台板(5)上设置有若干组沿电机(3)输出轴方向的移动板固定孔。5.根据权利要求1所述的一种滚轮电极打磨装置，其特征在于，电机(3)的驱动轴通过过渡轴套(9)固定连接有滚轮电极夹持装置，滚轮电极夹持装置包括连轴(10)，连轴(10)一端与过渡轴套(9)连接并设置有轴肩，另一端螺接有锁紧螺母(7)，锁紧螺母(7)与轴肩之间嵌套有垫套(8)，待加工滚轮电极(1)固定嵌套在垫套(8)与轴肩之间。6.根据权利要求1所述的一种滚轮电极打磨装置，其特征在于，打磨机构包括打磨板(13)、底板(12)和立筋板(11)，底板(12)水平放置，打磨板(13)和立筋板(11)竖直放置在底板(12)上，三者相互垂直。7.根据权利要求6所述的一种滚轮电极打磨装置，其特征在于，立筋板(11)中部掏空设置。8.根据权利要求1所述的一种滚轮电极打磨装置，其特征在于，打磨板(13)的打磨部位平面上固定有砂纸。9.一种滚轮电极打磨方法，基于权利要求1-8任意一项所述的装置，其特征在于，包括以下方法，步骤1，将待加工滚轮电极(1)固定在电机(3)的输出轴上，将导向条(2)固定在输出轴下方，打开电机(3)；步骤2，打磨机构沿导向条(2)斜边方向移动至与待加工滚轮电极(1)锥面贴合时进行打磨；步骤3，当滚轮电极表面光滑无凹坑或异常凸起时，移走打磨机构，关闭电机(3)，取下待加工滚轮电极(1)。10.根据权利要求9所述的一种滚轮电极打磨方法，其特征在于，在连轴(10)一端至另一端依次套有锁紧螺母(7)、垫套(8)、待加工滚轮电极(1)和过渡轴套(9)的一端，锁紧螺母(7)与连轴(10)螺纹连接，将过渡轴套(9)的另一端与电机(3)的输出轴自由端固定连接。2CN109623521A说明书1/4页一种滚轮电极打磨装置及其打磨方法技术领域[0001]本发明属于集成电路制造领域，涉及一种滚轮电极打磨装置及其打磨方法。背景技术[0002]滚轮电极是平行缝焊设备最基本的、最易消耗的备件。在平行缝焊过程中，滚轮电极易出现打火、磨损和表面平整度降低等问题，