退火被处理体的制造方法、激光退火基台和激光退火处理装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109863577A(43)申请公布日2019.06.07(21)申请号201780064612.9(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公(22)申请日2017.10.10司31100代理人俞丹张鑫(30)优先权数据2016-2057772016.10.20JP(51)Int.Cl.H01L21/268(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日B23K26/10(2006.01)2019.04.18H01L21/20(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据H01L21/683(2006.01)PCT/JP2017/0366562017.10.10(87)PCT国际申请的公布数据WO2018/074281JA2018.04.26(71)申请人株式会社日本制钢所地址日本东京(72)发明人郑石焕权利要求书2页说明书8页附图6页(54)发明名称退火被处理体的制造方法、激光退火基台和激光退火处理装置(57)摘要本发明提供一种退火被处理体的制造方法、激光退火基台和激光退火处理装置。其中，被处理体的制造方法对被处理体照射激光来进行所述被处理体的退火，包括：支承被处理体的支承步骤；以及对支承的被处理体照射所述激光的照射步骤，所述支承步骤中，至少在对所述被处理体照射激光的照射区域中，利用通过旋转位置调整上端高度位置的凸轮构件来对所述被处理体进行支承。CN109863577ACN109863577A权利要求书1/2页1.一种退火被处理体的制造方法，对被处理体照射激光来进行所述被处理体的退火，其特征在于，包括：支承所述被处理体的支承步骤；以及对所支承的被处理体照射所述激光的照射步骤，所述支承步骤中，至少在对所述被处理体照射激光的照射区域中，利用通过旋转位置调整上端高度位置的凸轮构件来对所述被处理体进行支承。2.如权利要求1所述的退火被处理体的制造方法，其特征在于，在所述照射步骤中，对所述被处理体相对扫描并照射所述激光，在所述支承步骤中，伴随着所述激光的相对扫描，利用所述凸轮构件至少对位于激光的照射区域的所述被处理体进行支承。3.如权利要求1或2所述的退火被处理体的制造方法，其特征在于，还包括：对位于所述激光的照射区域的被处理体的高度位置进行测定的测定步骤；以及基于测定到的所述高度位置来确定所述凸轮构件的旋转位置的高度位置调整步骤。4.一种激光退火基台，其特征在于，具有对激光照射的被处理体进行支承的多个支承部，所述支承部的至少一部分具有：凸轮构件，该凸轮构件至少对应于所述激光照射到被处理体上的照射区域从下表面侧支承所述被处理体；以及使所述凸轮构件旋转的凸轮旋转驱动部。5.如权利要求4所述的激光退火基台，其特征在于，还具有扫描装置，该扫描装置使所述被处理体相对于所述激光进行相对移动，进行所述激光的扫描，所述凸轮构件伴随着所述激光的扫描，至少对位于激光的照射区域的所述被处理体进行所述支承。6.如权利要求5所述的激光退火基台，其特征在于，所述凸轮构件具有相对于所述激光的照射位置固定的设置位置，不具有凸轮构件的其他支承部能与所述被处理体一起移动。7.如权利要求4至6中任一项所述的激光退火基台，其特征在于，还包括：测定器，该测定器至少对应于所述激光照射的照射区域而测定所述被处理体的高度位置；以及控制所述凸轮旋转驱动部的控制部，所述控制部接收所述测定器的测定结果，并基于该测定结果进行如下控制：调整所述凸轮构件的旋转位置，将所述被处理体调整到预先规定的高度位置。8.如权利要求6所述的激光退火基台，其特征在于，在所述被处理体的下表面方向上具有多个所述凸轮构件，所述控制部能对每一个凸轮构件、或由多个凸轮构件构成的组的每一组独立地变更旋转位置。9.如权利要求4至8中任一项所述的激光退火基台，其特征在于，所述凸轮构件与所述被处理体接触地对所述被处理体进行支承。10.如权利要求4至9中任一项所述的激光退火基台，其特征在于，所述凸轮构件通过气悬浮对所述被处理体进行支承。2CN109863577A权利要求书2/2页11.如权利要求10所述的激光退火基台，其特征在于，所述凸轮构件的至少气体吹出面侧由多孔质材料构成。12.如权利要求10或11所述的激光退火基台，其特征在于，所述凸轮构件具有吹气部，该吹气部无论所述凸轮构件的旋转位置在哪里，都使从凸轮构件吹出的气体在正上方侧与被处理体下表面接触。13.如权利要求7至12中任一项所述的激光退火基台，其特征在于，所述激光被整形成线束形状并照射到所述被处理体上，所述凸轮构件沿着所述激光的长轴方向配置有多个。14.一种激光退火处理装置，其特征在于，包括：如权利要求4至13中任一项所述的激光退火基台；输出激光的激光光源；以及光学系统，该光学