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晶圆吸附装置和激光退火设备.pdf

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本发明提供一种晶圆吸附装置和激光退火设备。晶圆吸附装置包括:第一吸附结构和第二吸附结构;其中,所述第一吸附结构包括:第一基体以及固定于所述第一基体的第一气道和第一装配部,所述第一气道连通到抽气设备,所述第一装配部用于与所述第二吸附结构的第二装配部通过可拆卸的方式固定连接,以实现所述第一吸附结构与所述第二吸附结构之间的可拆卸式固定连接;所述第二吸附结构包括:第二基体以及固定于所述第二基体的第二气道和第二装配部,所述第二气道连通到抽气设备和所述第二吸附结构的吸附接触面,其中,所述吸附接触面为所述第二吸附结构远离所述第一吸附结构的表面。有利于实现良好的工艺效果和降低成本。