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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110005639A(43)申请公布日2019.07.12(21)申请号201910409356.3B23K20/14(2006.01)(22)申请日2019.05.16(71)申请人江苏博联硕焊接技术有限公司地址226600江苏省南通市海安市城东镇立发大道169号(72)发明人孙福张昊王桂龙邵长斌王莉敏王蒙蒙(74)专利代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)11463代理人赖俊科(51)Int.Cl.F04D29/32(2006.01)F04D19/04(2006.01)F04D29/02(2006.01)B23K20/02(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图1页(54)发明名称一种复合型涡轮分子泵转子及其制备方法(57)摘要本发明公开了一种复合型涡轮分子泵转子及其制备方法,涉及气体流体领域。该涡轮分子泵转子包括至少一组依次层叠设置的第一转子环、第二转子环、第三转子环和叶片;其中,第一转子环和第三转子环为铝或铝合金转子环,第二转子环为钛或钛合金间隔转子环,叶片为钛或钛合金叶片。该涡轮分子泵转子的质量轻、性能良好、高速性优异,其结构兼具了成本低、轻质铝或铝合金转子与中等重量、高强度的钛或钛合金叶片的优点,并且能够有效避免叶片在焊接冷却过程中产生屈曲变形。CN110005639ACN110005639A权利要求书1/1页1.一种复合型涡轮分子泵转子,其特征在于,包括:至少一组依次层叠设置的第一转子环、第二转子环、第三转子环和叶片;其中,所述第一转子环和所述第三转子环为铝或铝合金转子环,所述第二转子环为钛或钛合金间隔转子环,所述叶片为钛或钛合金叶片。2.根据权利要求1所述的复合型涡轮分子泵转子,其特征在于:所述第一转子环和所述第三转子环的厚度为1~80mm。3.根据权利要求1所述的复合型涡轮分子泵转子,其特征在于:所述第二转子环的厚度为0.1~20mm。4.根据权利要求1所述的复合型涡轮分子泵转子,其特征在于:所述叶片的厚度为1~50mm。5.根据权利要求1至4中任一项所述的复合型涡轮分子泵转子,其特征在于:所述第一转子环与所述第二转子环之间,所述第二转子环和所述第三转子环之间,以及所述第三转子环和所述叶片之间均设置有增强中间层。6.根据权利要求5所述的复合型涡轮分子泵转子,其特征在于:所述增强中间层为Al-Si中间层。7.根据权利要求5所述的复合型涡轮分子泵转子,其特征在于:所述增强中间层的厚度为0.01~5mm。8.一种权利要求1至7中任一项所述的复合型涡轮分子泵转子的制备方法,其特征在于,包括:将所述第一转子环、所述第二转子环、所述第三转子环以及所述叶片依次层叠设置形成装配体。9.根据权利要求8所述的复合型涡轮分子泵转子的制备方法,其特征在于:还包括将所述装配体进行扩散焊接作业,且在进行所述扩散焊接作业前,在各层界面交界处设置Al-Si中间层后形成待焊结构。10.根据权利要求9所述的复合型涡轮分子泵转子的制备方法,其特征在于,所述扩散焊接作业具体包括:将所述待焊结构放入真空扩散焊装备中,并在1e-3~1e-4Pa的真空度下,对其进行加热、加压;焊接温度为600±10℃,焊接压力为3~5MPa,保温、保压时间为2~3h。2CN110005639A说明书1/5页一种复合型涡轮分子泵转子及其制备方法技术领域[0001]本发明涉及气体流体领域,具体而言,涉及一种复合型涡轮分子泵转子及其制备方法。背景技术[0002]众所周知,在核聚变反应堆,激光等离子体装置等中需要高真空室。具有涡轮叶片的转子每分钟旋转几万次,以便在分子流动区域中产生气体分子的排气作用。近年来,随着聚变反应器的性能变得越来越大,真空室所需的真空度也越来越高,研制超高真空涡轮分子泵的市场化需求越来越强烈。同时,为了保证涡轮分子泵的经济性和良好的驱动性能,需要在制造过程中对其成本和重量进行严格控制。[0003]在传统涡轮分子泵的制造过程中,通常分开预先加工多级叶片和转子盘,随后采用螺栓螺母或熔焊的方法将其加工为整体转子结构,但是该方法存在连接强度低、加工成本高、工序复杂和工时数长等缺点。[0004]同时,由于采用铝/铝合金转子环具有轻质、成本低等优点,而钛/钛合金叶片具有中等质量、力学优异性能等优点,因此可以想象,制备铝/铝合金转子环和钛/钛合金叶片复合型涡轮分子泵转子具有无法比拟的技术优势。但是,铝的热膨胀率为24.0×10-6/℃,而钛的热膨胀系数为8.9×10-6/℃,两者热膨胀系数差异使得连接界面存在热应力,进而导致在冷却过程中叶片产生波纹状平面屈曲,最终对转子的整体强度和尺寸精度产生不良影响。发明内容[0005]本发明的目的在于提供一种复合型涡轮分子泵转子,该涡轮