一种研磨轮和研磨装置.pdf
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相关资料
一种研磨轮和研磨装置.pdf
本申请提供一种研磨轮和研磨装置,涉及机械技术领域。该研磨轮包括尾柄和柱状的研磨轮本体,其中,研磨轮本体的一个端面上设有尾柄,并且尾柄与研磨轮本体同轴;研磨轮本体的另一个端面上设有注水口,研磨轮本体的内部设有空腔,并且注水口与空腔连通;研磨轮本体的侧壁设有研磨槽,研磨槽内设有排屑口,排屑口与空腔连通。在本实施例提供的研磨轮和研磨装置中,当冷却液从注水口进入空腔并从排屑口排出时,可以带走磨削过程中产生的热量及磨屑,使研磨轮起到自冷却和自排屑的作用。
一种研磨轮及晶片研磨装置.pdf
本发明提供一种研磨轮及晶片研磨装置,涉及晶圆研磨领域,该研磨轮包括:磨轮轴心,磨轮轴心为圆柱状;设于磨轮轴心外表面且沿磨轮轴心周向设置的螺纹状研磨槽,从磨轮轴心的一端至另一端,螺纹状研磨槽的形状和尺寸保持不变。本发明实施例解决了倒角加工过程中,由于研磨轮与工件之间的接触点难以冷却使得工件出现烧伤和硬币纹的问题。
研磨轮、研磨装置及研磨方法.pdf
本发明公开了一种研磨装置,包括至少两个研磨轮,所述至少两个研磨轮的目数不同,所述目数是指研磨轮表面的单位面积内的研磨颗粒的数目;目数不同的所述至少两个研磨轮,用于依目数从小到大的顺序对待研磨物进行研磨;其中,所述研磨轮包括用于容纳并研磨待研磨物的研磨槽;所述研磨槽设置在所述研磨轮的外周面,且在所述研磨轮轴线所处平面内,所述研磨槽的截面形状为等腰梯形,且所述研磨槽的开口角度为30°~60°。本发明还公开了一种研磨轮和研磨方法。本发明提出的研磨轮、研磨装置及研磨方法,能够达到较好的研磨效果。
研磨轮及研磨装置.pdf
本发明涉及研磨装置技术领域,尤其是涉及一种研磨轮及研磨装置。研磨轮包括轮体,所述轮体上设置多个研磨齿,相邻两个所述研磨齿之间设置有齿槽,所述齿槽呈圆弧形;所述研磨齿倾斜设置,多个所述研磨齿的倾斜方向与所述轮体的转动方向一致。研磨装置包括壳体和转轴,所述壳体内部设置有过滤结构和上述的研磨轮;所述研磨轮设置在所述转轴上,通过所述转轴带体所述研磨轮转动。本发明解决了现有技术中工作效率低的技术问题。
研磨轮修复装置和研磨轮修复系统.pdf
本公开涉及一种研磨轮修复装置和研磨轮修复系统,该研磨轮修复装置包括:槽体,用于存放修复石,并且具有对接研磨轮的第一开放端;以及驱动机构,用于驱动所述修复石从所述槽体内由所述第一开放端移出。通过上述技术方案,使本公开所提供的研磨轮修复装置无需人工干涉,便能安全有效地实现研磨轮的修复,并且结构简单、操作方便。