一种超精磨砂轮用陶瓷结合剂及其制备方法和应用.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110238765A(43)申请公布日2019.09.17(21)申请号201910540985.XC04B38/02(2006.01)(22)申请日2019.06.21(71)申请人郑州磨料磨具磨削研究所有限公司地址450001河南省郑州市高新区梧桐街121号(72)发明人苗卫朋丁玉龙刘宾包华(74)专利代理机构郑州联科专利事务所(普通合伙)41104代理人时立新付艳丽(51)Int.Cl.B24D3/18(2006.01)B24D3/34(2006.01)B02C17/10(2006.01)C04B35/528(2006.01)C04B35/63(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称一种超精磨砂轮用陶瓷结合剂及其制备方法和应用(57)摘要本发明针对现有技术中陶瓷结合剂砂轮存在的问题，提供一种超精磨砂轮用陶瓷结合剂及其制备方法和应用，由以下重量百分比的组分构成：二氧化硅粉体25%-50%，高岭土5%-10%，硝酸盐类粉体5%-15%，氧化硼粉5%-15%，金属氧化物粉2%-8%，添加剂2%-10%。利用该陶瓷结合剂制备的砂轮，具有自锐性好，孔隙率高，且大部分是闭气孔，磨削性能好的特点。CN110238765ACN110238765A权利要求书1/1页1.一种超精磨砂轮用陶瓷结合剂，其特征在于，由以下重量百分比的组分构成：二氧化硅粉体25%-50%，高岭土5%-10%，硝酸盐类粉体5%-15%，氧化硼粉5%-15%，金属氧化物粉2%-8%，添加剂2%-10%。2.根据权利要求1所述的超精磨砂轮用陶瓷结合剂，其特征在于，所述硝酸盐类粉体为硝酸锂，硝酸钙和硝酸镁中的一种或多种。3.根据权利要求1所述的超精磨砂轮用陶瓷结合剂，其特征在于，所述金属氧化物粉为氧化铁和/或氧化铝。4.根据权利要求1所述的超精磨砂轮用陶瓷结合剂，其特征在于，所述添加剂为碳酸钙、碳酸氢钙、碳酸镁和碳酸氢钠中的一种或多种。5.权利要求1至4任一项所述的超精磨砂轮用陶瓷结合剂的制备方法，其特征在于，将所有原料放入球磨罐中，进行干磨48-96小时，再加入水进行湿磨96-150小时，然后过筛，静置45-52小时，分离粉体与水并将水离后的粉体进行干燥处理，最后再干磨24-72小时后过筛，即得超精磨砂轮用陶瓷结合剂粉体。6.根据权利要求5所述的超精磨砂轮用陶瓷结合剂的制备方法，其特征在于，所述干燥处理具体操作为：在80-120℃条件下烘干12-20小时。7.权利要求1至4任一项所述的超精磨砂轮用陶瓷结合剂在金刚石砂轮制备中的应用，其特征在于，制备得到的金刚石砂轮内的气孔为闭气孔。2CN110238765A说明书1/4页一种超精磨砂轮用陶瓷结合剂及其制备方法和应用技术领域[0001]本发明属于超精磨砂轮技术领域，具体涉及一种超精磨砂轮用陶瓷结合剂及其制备方法和应用。背景技术[0002]二十一世纪的信息时代，电子产品向着小型化、高性能、多功能方向快速发展，对集成电路（IC）制造技术的要求越来越高，硅片逐渐趋向大直径化，但是直径增大给硅片减薄磨削带来了极大的困难。大直径硅片研磨加工时，存在研磨损伤大，面型精度低及不易自动化控制等问题，无法进行高品质，高效率的加工。而普通的陶瓷结合剂制备出来的砂轮由于自锐性差，孔隙率低，在磨削的时候接触面大，磨料不易脱落，极易对工件产生磨损，滑擦，划痕等现象，影响工件的加工质量。[0003]中国专利CN1938129B公开了一种多孔陶瓷结合剂砂轮及制备方法，虽然在一定程度上能够解决砂轮的自锐性问题，但是此砂轮的孔多为通孔，由于孔隙较高，磨削后的杂质会随着孔渗入砂轮，影响后续的使用。发明内容[0004]本发明针对现有技术中陶瓷结合剂砂轮存在的问题，提供一种超精磨砂轮用陶瓷结合剂及其制备方法和应用，利用该陶瓷结合剂制备的砂轮，具有自锐性好，孔隙率高，且大部分是闭气孔，磨削性能好的特点。[0005]本发明采用如下技术方案：一种超精磨砂轮用陶瓷结合剂，由以下重量百分比的组分构成：二氧化硅粉体25%-50%，高岭土5%-10%，硝酸盐类粉体5%-15%，氧化硼粉5%-15%，金属氧化物粉2%-8%，添加剂2%-10%。[0006]优选地，所述硝酸盐类粉体为硝酸锂，硝酸钙和硝酸镁中的一种或多种。[0007]优选地，所述金属氧化物粉为氧化铁和/或氧化铝。[0008]优选地，所述添加剂为碳酸钙、碳酸氢钙、碳酸镁和碳酸氢钠中的一种或多种。[0009]上述的超精磨砂轮用陶瓷结合剂的制备方法，将所有原料放入球磨罐中，进行干磨48-96小时，再加入水进行湿磨96-150小时，然后过筛，静置48小时，分离粉体与水并将水离后的粉体进行干燥处理，最后再干磨24-72小时