用于形成用于激光加工的辐射的方法和设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110352378A(43)申请公布日2019.10.18(21)申请号201880016522.7(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公(22)申请日2018.03.02司72001代理人卢江刘春元(30)优先权数据102017203655.92017.03.07DE(51)Int.Cl.G02B27/48(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日H01S3/00(2006.01)2019.09.06B23K26/06(2014.01)(86)PCT国际申请的申请数据PCT/EP2018/0552062018.03.02(87)PCT国际申请的公布数据WO2018/162356DE2018.09.13(71)申请人罗伯特·博世有限公司地址德国斯图加特(72)发明人D.米海洛夫R.高赫T.格拉夫权利要求书2页说明书12页附图7页(54)发明名称用于形成用于激光加工的辐射的方法和设备(57)摘要本发明涉及一种用于材料加工的方法和激光器装置，其中在激光器装置中将激光光束聚焦到加工/成像平面上并且所述激光光束能够借助至少一个光束形成器在其强度分布方面被适配。在此规定，为了避免在所述加工/成像平面中的均匀性误差，所述激光光束借助至少一个分束器被划分成至少两个子光束或单光束并且所述子光束或单光束不同地受影响或每个子光束或单光束由具有不同波长的激光源形成，所述子光束或单光束在其聚集并聚焦到所述加工/成像平面上之后形成具有强度轮廓的输出光束，其中所述强度轮廓的相邻的强度最大值在其光特性方面不同。因此可以防止干扰性的干涉形成，使得干扰性的散斑图案尽可能被去除，由此尤其针对激光加工过程能够明显改善光束形状的质量。CN110352378ACN110352378A权利要求书1/2页1.一种用于在激光加工过程中进行光束形成的方法，其中在激光器装置（20）中能够将激光光束（22）聚焦到加工/成像平面（29）上并且所述激光光束（22）能够借助至少一个光束形成器（26，30）在其强度分布方面被适配，其特征在于，为了避免在所述加工/成像平面（29）中的均匀性误差，所述激光光束（22）借助至少一个分束器（23）被划分成至少两个子光束或单光束（24，25，35）并且所述子光束或单光束不同地受影响或每个子光束或单光束由具有不同波长的激光源（21）形成，所述子光束或单光束在其聚集并聚焦到所述加工/成像平面（29）上之后形成具有强度轮廓（28.1）的输出光束（28），其中所述强度轮廓（28.1）的相邻的强度最大值在至少一个或多个光特性方面不同，以便排除干涉形成。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述子光束或单光束（24，25，35）借助光束形成器（26，30，37）和/或延迟单元（36）和/或波长操纵器（38）在其相位和/或其强度轮廓（24.1，25.1，37.1，37.2，37.3，37.4）和/或其波长方面不同地受影响。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述激光光束（22）被划分成至少两个被不同地偏振的子光束并且所述子光束分别借助光束形成器（26，30）在其强度轮廓（24.1，25.1）方面被改变并且在聚集所述被不同地偏振的子光束之后，两个子光束的强度轮廓（24.1，25.1）在所述加工/成像平面（29）中叠加成额定光束轮廓（33），其中所述强度轮廓（24.1，25.1）的相邻的强度最大值分别具有不同的偏振。4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，所述子光束或单光束的强度轮廓（24.1，25.1，37.1，37.2，37.3，37.4）在所述加工/成像平面（29）中在构成作为规则的图案M的所述输出光束（28）的情况下被聚集，所述规则的图案具有反复的图案区域（MFA，MFB，MFC，MFD），例如以棋盘图案或蜂窝图案或三角形图案或菱形图案或其他规则图案的形式，其中直接相邻的图案区域（MFA，MFB，MFC，MFD）分别被分配给不同类型的子光束或单光束，其中所述不同类型的子光束或单光束在至少一个光特性方面不同。5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，借助所述光束形成器（26，30，37）以短的时间间距连续地利用至少一个相位掩模和/或幅度掩模修改所述子光束（24，25，37）。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，根据额定光束轮廓（33），为激光加工预先给定不同的相位掩模和/或幅度掩模。7.根据权利要求5或6所述的方法，其特征在于，所述子光束分别本身分开地或共同地利用所述相位掩模和/或幅度掩模来修改。8.根据权利要求1至7中任一项所述的方法，其特征在于，为了光束形成，使用衍射漫射器，所述衍射漫射器被实施为空间光调制器。9.根据