用于以激光辐射加工工件的方法和设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN104302438104302438A(43)申请公布日2015.01.21(21)申请号201380022703.8(51)Int.Cl.(22)申请日2013.03.18B23K26/064(2014.01)B23K26/362(2014.01)(30)优先权数据B23K26/70(2014.01)102012207220.92012.04.30DE(85)PCT国际申请进入国家阶段日2014.10.29(86)PCT国际申请的申请数据PCT/EP2013/0555742013.03.18(87)PCT国际申请的公布数据WO2013/164125DE2013.11.07(71)申请人罗伯特·博世有限公司地址德国斯图加特(72)发明人U·格拉夫R·高赫(74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司72002代理人曾立权权利要求书2页利要求书2页说明书9页说明书9页附图3页附图3页(54)发明名称用于以激光辐射加工工件的方法和设备(57)摘要本发明涉及一种用于以激光辐射加工工件(110)的方法，特别是用于激光烧蚀。提供至少一个激光束(130)，所述激光束借助于至少一个可变的射束成形装置(132)影响。所述激光束(130)接着射在所述工件(110)的至少一个加工面(112)上。借助于所述射束成形装置(132)给所述激光束(130)在所述加工面(112)的位置上施加至少一个预给定的可调节的射束轮廓(116，118，120)。CN104302438ACN104328ACN104302438A权利要求书1/2页1.一种用于以激光辐射加工工件(110)的方法，特别是用于激光烧蚀，其中，提供至少一个激光束(130)，所述激光束(130)借助于至少一个能够变化的射束成形装置(132)来影响，所述激光束(130)接着射在所述工件(110)的至少一个加工面(112)上，借助于所述射束成形装置(132)给所述激光束(130)在所述加工面(112)的位置上施加至少一个预给定的能够调节的射束轮廓(116，118，120)。2.根据上一个权利要求所述的方法，其中，所述射束成形装置(132)设置用于，在所述加工面(112)上产生至少两个不同的图样，所述图样包括照射区域和非照射区域(122，124)，当在两个不同的图样之间变换时所述照射区域(122)中的积分通量基本上保持不变。3.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述射束成形装置(132)具有变化元件(140)的矩阵(138)，其中，所述变化元件(140)设置用于使所述激光束(130)射到所述变化元件(140)上的组成部分在其相位和/或振幅和/或强度和/或偏振方面变化。4.根据上一个权利要求所述的方法，其中，借助于所述变化元件(140)在垂直于所述激光束(130)的光学轴(134)的平面中产生与位置相关的相位调制的图样，借助于至少一个聚焦元件(142)使所述与位置相关的相位调制的图样在所述加工面(112)上变换成与位置相关的强度调制的图样。5.根据上两个权利要求中任一项所述的方法，其中，借助于所述变化元件(140)在垂直于所述激光束(130)的光学轴的平面中产生与位置相关的强度调制的图样，借助于至少一个成像光学器件(152)使所述与位置相关的强度调制的图样在所述加工面(112)上成像为与位置相关的强度调制的图样。6.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述射束成形装置(132)包括至少一个空间光调制器(136)和/或至少一个微镜系统。7.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述方法包括一顺序，该顺序具有至少两个不同的照射步骤，其中，在所述不同的照射步骤中，以所述激光束(130)的不同射束轮廓(116，118，120)照射所述工件(110)的加工面(112)。8.根据上一个权利要求所述的方法，其中，在所述不同的照射步骤中，所述射束成形装置(132)的变化元件(140)的矩阵(138)分别被以不同的方式控制。9.根据上三个权利要求中任一项所述的方法，其中，在所述不同的照射步骤中，分别在所述工件(110)的不同平面中将不同几何形状和/或不同深度的孔引入到所述工件(110)中。10.一种用于以激光辐射加工工件(110)的激光加工设备(126)、特别是激光烧蚀设备，其中，所述激光加工设备(126)具有至少一个激光源(128)以提供至少一个激光束(130)，其中，所述激光加工设备(126)如此设置，使得所述激光束(130)射在所述工件(110)的至少一个加工面(112)上，所述激光加工设备(126)还具有至少一个射束成形装置(132)以影响所述激光束(130)，所述射束成形装置(132)设置用于给所述