用于电镀设备的晶圆夹具.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110387571A(43)申请公布日2019.10.29(21)申请号201810343833.6(22)申请日2018.04.17(71)申请人姜力地址中国台湾苗栗县申请人于勇(72)发明人姜力于勇(74)专利代理机构隆天知识产权代理有限公司72003代理人聂慧荃郑特强(51)Int.Cl.C25D17/06(2006.01)C25D7/12(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图6页(54)发明名称用于电镀设备的晶圆夹具(57)摘要一种用于电镀设备的晶圆夹具，包括一载具、至少一连动环、至少一电镀载体、至少一上盖以及至少一作动杆，载具于其侧壁处以同圆心方式固定着电镀载体及安装着可被转动的连动环，电镀载体圆周外壁边缘具有多个定位块，连动环圆周外壁底缘局部区域具有一齿轮区段，外壁顶缘则具有多个下卡块；上盖为环状盖体，环内壁顶缘分布着多个定位凹槽，环内壁底缘则设有一固定环，固定环内具有多个上卡块，作动杆纵向安装于载具内，其局部区段具有一齿条，齿条与齿轮区段相啮合。由此，当上盖覆盖于电镀载体后，因定位块位于定位凹槽内而被固定，操作者推动作动杆，利用齿条与齿轮区段啮合，进而使得连动环被转动，利用下卡块契合于上卡块进而旋紧上盖。CN110387571ACN110387571A权利要求书1/1页1.一种用于电镀设备的晶圆夹具，包括一载具、至少一连动环、至少一电镀载体、至少一上盖及至少一作动杆，该载具于其一侧壁处以同圆心方式固定着该电镀载体及安装着可被转动的该连动环，该连动环被限制仅能旋转一角度，该电镀载体圆周外壁边缘具有多个定位块，该连动环圆周外壁底缘的局部区域具有一齿轮区段，外壁顶缘则具有多个下卡块，该上盖为环状盖体，环内壁顶缘分布着多个定位凹槽，壁内壁底缘则设有一固定环，该固定环内具有多个上卡块，该作动杆纵向安装于该载具内，其局部区段具有一齿条，该齿条会与该齿轮区段相啮合。2.如权利要求1所述的用于电镀设备的晶圆夹具，其中该连动环安装于该电镀载体圆周外围，且尺寸小于该电镀载体顶缘尺寸，该电镀载体被固定不动，该连动环仅能旋转但无法脱离该电镀载体。3.如权利要求1所述的用于电镀设备的晶圆夹具，其中该载具由一板体及一支撑部所构成，形成上宽下窄的T字型结构体，该侧壁是该板体侧面，该侧壁处内凹形成一容置座，该电镀载体及该连动环安装于该容置槽座，该容置槽座内另具有深度更深的一限位槽，该连动环的该齿轮区段则位于该限位槽内，该限位槽呈弧形，限制着该连动环仅能旋转一预定角度。4.如权利要求3所述的用于电镀设备的晶圆夹具，其中该板体纵向另具有一容置空间，该容置空间局部并与该容置槽座相连通，该作动杆安装于该容置空间内，该齿条于该容置空间与该容置槽座相通处与该连动环的该齿轮区相啮合。5.如权利要求3所述的电镀设备的晶圆夹具，其中该作动杆顶部另设有一导电块，该支撑部相对应处具有一凹槽，该导电块设置该凹槽内其中。6.如权利要求3所述的电镀设备的晶圆夹具，其中该作动杆、该连动环及该固定环皆为金属材质，能作为电力传输的介质。7.如权利要求1所述的电镀设备的晶圆夹具，其中该作动杆的啮合区段另包括一活动管、一弹簧及一调整件，该活动管能作线性的往复移动，该齿条位于该活动管侧壁，该弹簧被限制于该活动管与该调整件之间，该调整件经转动能改变与该活动管之间的距离，进而调整该弹簧的紧度。2CN110387571A说明书1/6页用于电镀设备的晶圆夹具技术领域[0001]本发明为一种晶圆夹具的技术领域，尤其指一种用于电镀设备中夹持晶圆的结构，能避免过度夹紧晶圆，且有利于后续自动化机械的操作。背景技术[0002]如图1所示，为现有电镀设备的晶圆夹持结构，其于一载具11上固定着一电镀载体12，另外配合使用一内盖13及一上盖14。该电镀载体12圆周外壁具有多个凸块121，该上盖14内壁边缘则具有相对数目的多个上凸块141。使用时，欲电镀的晶圆A先放置于该电镀载体12上，放置该内盖13于该晶圆A上，该晶圆A中央祼露区域即为欲电镀表面，再由该上盖14覆盖于该内盖13及该电镀载体12上并加以旋转，利用该上凸块141与该下凸块121相对移动而产生相互迫紧效果，达到将该电镀载体12、晶圆A、内盖13及上盖14相互卡紧固定的目的。[0003]然而上述结构在使用上具有下列几项缺点：[0004]1.无法以自动化机械辅助操作：由于该上盖14须进行旋转才能锁紧于该电镀载体12，为避免该上盖14刮伤该晶圆A表面，必须利用不会转动的该内盖13作为中间介质，但欲使用自动化机器辅助操作时，因该内盖13的存在，机构运作容易产生干涉，因此目前此类晶圆夹持结构的操作流程皆采用人工进行上、下晶圆的动作，无法利用机器自动化运行；[0005]2.