用于电镀设备的夹具.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111945212A(43)申请公布日2020.11.17(21)申请号201910402494.9(22)申请日2019.05.15(71)申请人姜力地址中国台湾苗栗县申请人于勇(72)发明人姜力于勇(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司11243代理人许静安利霞(51)Int.Cl.C25D17/06(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图8页(54)发明名称用于电镀设备的夹具(57)摘要本发明提供一种用于电镀设备的夹具，包括载具、齿轮、至少一连动件、电镀载板、外盖及作动杆；该载具侧壁安装着该电镀载板；该电镀载板面对该载具方向设有阶梯式承座，该承座由外向内在不同高度依序承载该连动件及该齿轮；该连动件仅能线性移动且朝向该齿轮方向凸出设有连动齿条，该连动齿条与该齿轮啮合，该连动件外壁另分布着多个上卡块；该外盖为多边型环状盖，朝向该载具方向设有固定环；该固定环的环内壁分布着多个下卡块；该作动杆纵向安装于该载具内，该作动杆能带动该连动件作线性移动，且使该上卡块卡制于下卡块。藉此能将多边形的电镀片固定于该电镀载板与该外盖之间。CN111945212ACN111945212A权利要求书1/1页1.一种用于电镀设备的夹具，包括载具、齿轮、至少一连动件、电镀载板、外盖及作动杆；该载具侧壁安装着该电镀载板；该电镀载板面对该载具方向设有阶梯式承座，该承座由外向内在不同高度依序承载该连动件及该齿轮；该连动件被限制仅能在固定距离内线性移动，且朝向该齿轮方向凸出设有连动齿条，该连动齿条与该齿轮啮合，该连动件外壁另分布着多个上卡块；该外盖为多边型环状盖且于朝向该载具方向设有固定环，该固定环的环内壁分布着多个下卡块；该作动杆采纵向安装于该载具内，该作动杆能带动该连动件作线性移动，且使该上卡块卡制于下卡块。2.根据权利要求1所述的用于电镀设备的夹具，其中该承座的阶梯式结构由四边型座及尺寸较小的圆型座所构成，该连动件安装于该四边型座且能移动，该齿轮套置于该圆型座且能转动，该连动件由该连动齿条与该齿轮啮合。3.根据权利要求2所述的用于电镀设备的夹具，其中该连动件另设有多个导轮，且由该导轮与该四边型座壁面接触。4.根据权利要求2所述的用于电镀设备的夹具，进一步包括有多个链条组，每个该链条组相连接于两个该连动件之间，多个该连动件安装于该四边型座周围壁面，该链条组位于该四边型座的转角位置，该连动件与该链条组交错串连结合呈一环形。5.根据权利要求2所述的用于电镀设备的夹具，该载具侧壁具有容置槽，该容置槽供该电镀载板的该圆型座及安装其上的该齿轮设置其中，该容置槽周围内壁另具有至少一限位槽，该限位槽供该连动齿条设置其中，且限制该连动齿条的移动距离。6.根据权利要求5所述的用于电镀设备的夹具，其中该载具纵向另具有容置空间，该容置空间局部并与该容置槽相连通，该作动杆具有作动齿条，该作动杆安装于该容置空间内，该作动齿条位于该容置空间内且与该容置槽相通处与该齿轮相啮合。7.根据权利要求6所述的用于电镀设备的夹具，在其中一个该限位槽内具有连通窗口，该连通窗口与该容置空间相连通，该作动杆的该作动齿条经该连通窗口与该齿轮相啮合。8.根据权利要求5所述的用于电镀设备的夹具，其中该载具纵向另具有一容置空间，另外该容置槽于其中一个内壁具有连通槽，该容置空间局部经该连通槽与该容置槽相连通，该作动杆具有作动齿条，该作动杆安装于该容置空间内，另外至少一个该连动件外壁设有控制齿条，该控制齿条位于该连通槽内，该作动齿条位于该容置空间内且与该容置槽相通处与该控制齿条相啮合。9.根据权利要求1所述的用于电镀设备的夹具，其中该外盖为四边型的环形盖，该固定环也为四边型，该外盖中央开口尺寸小于该固定环中央开口尺寸。10.根据权利要求1所述的用于电镀设备的夹具，其中该作动杆、该齿轮、该连动件及该固定环皆为金属材质，能作为电力传输的介质。2CN111945212A说明书1/4页用于电镀设备的夹具技术领域[0001]本发明为一种用于电镀设备的夹具的技术领域，尤其指一种用于非圆形电镀片夹持，能避免过度夹紧电镀片，且有利于后续自动化机械的操作。背景技术[0002]本发明人于先前设计了一组“用于电镀设备的晶圆夹具”，能通过自动化机器设备的辅助，达到自动化取、放晶圆的目的，且能以较佳的夹持力夹紧晶圆。但随着科技应用范围不断扩大，电镀物也不限为圆形，例如太阳能芯片即为方型。传统各类夹具主要用于夹持圆形晶圆，当被电镀片为非圆形时此类夹具就无法使用，本发明针对此问题，对于非圆形的电镀片，设计了此一夹具。发明内容[0003]本发明的主要目的为提供一种运用于电镀设备的夹具，主要采用不同的作动方式，达到夹持非圆形电镀片的目的，且有利于后续自动