一种蓝宝石晶片切割设备及工艺.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110733140A(43)申请公布日2020.01.31(21)申请号201911022763.5(22)申请日2019.10.25(71)申请人江苏晶杰光电科技有限公司地址221300江苏省徐州市邳州市经济开发区环城北路北侧非晶产业园三期16号厂房(72)发明人陈炳寺戴磊(51)Int.Cl.B28D5/04(2006.01)B28D7/00(2006.01)B28D7/04(2006.01)H01L21/304(2006.01)H01L33/00(2010.01)权利要求书2页说明书4页附图2页(54)发明名称一种蓝宝石晶片切割设备及工艺(57)摘要本发明公开了一种蓝宝石晶片切割设备及工艺，包括第一支板、第二支板、底板、U型支板、侧滑板、条形槽、长圆筒、第一气缸、条形切刀、第二气缸、L型板、环框、轴承、环形齿轮、短圆筒、螺杆、伺服电机、驱动齿轮、滚珠、第一吸盘、第三气缸、螺纹长杆、第二吸盘、螺纹深孔和圆板。本发明，便于将待分切的蓝宝石晶棒两端经两个相应吸盘及相连结构进行固定住，同时能够在第三气缸推动及第一气缸的推杆上的滚珠辅助下，达到逐步向切割结构处供料的效果，通过启动第二气缸推动相连的条形切刀分阶段伸刀切割蓝宝石晶棒同一部位，能够避免出现卡刀的情况，保证每次切割量相同，能够避免分切出来的蓝宝石晶圆片掉落的问题，提高成品率。CN110733140ACN110733140A权利要求书1/2页1.一种蓝宝石晶片切割设备，其特征在于：包括长圆筒（7）、夹持机构、伸切机构和驱动机构，所述长圆筒（7）环形面通过两个侧滑板（5）与对应的两个条形槽（6）滑动连接，且两个所述条形槽（6）开设在U型支板（4）的两端端面上；所述夹持机构包括第一气缸（8）、螺杆（16）和第三气缸（21），所述第三气缸（21）安装在长圆筒（7）一端端面上，且第三气缸（21）的推杆安装有第一吸盘（20），所述第一气缸（8）设有四个，且四个所述第一气缸（8）环形安装在长圆筒（7）环形面一端，所述第一气缸（8）的推杆一端端面滚动安装有滚珠（19），所述螺杆（16）螺纹穿过短圆筒（15）内圆壁中间位置，且螺杆（16）一端转动安装有第二吸盘（23）；所述伸切机构包括条形切刀（9），所述条形切刀（9）顶端安装在第二气缸（10）的推杆一端，且条形切刀（9）滑动衔接穿过短圆筒（15）端口内环壁相应部分，所述第二气缸（10）安装在L型板（11）的横板上，且第二气缸（10）通过软管与安装在短圆筒（15）上的气动控制器及微型气泵连接；所述驱动机构包括环形齿轮（14），所述环形齿轮（14）装配在短圆筒（15）一端，且环形齿轮（14）与驱动齿轮（18）啮合连接，所述驱动齿轮（18）安装在伺服电机（17）的轴杆一端，且伺服电机（17）安装在第一支板（1）一侧。2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶片切割设备，其特征在于：所述第二吸盘（23）圆形吸口周围固定在圆板（25）的中部孔结构内，且第二吸盘（23）和第一吸盘（20）的结构组成一致。3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶片切割设备，其特征在于：所述条形槽（6）一端与U型支板（4）侧壁连通，且条形槽（6）内另一端转动安装有螺纹长杆（22）一端。4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶片切割设备，其特征在于：所述侧滑板（5）一侧壁底部开设有螺纹深孔（24），且螺纹深孔（24）与螺纹长杆（22）螺纹连接。5.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶片切割设备，其特征在于：所述U型支板（4）底部安装在底板（3）顶部表面，且底板（3）顶部一侧安装有第二支板（2）底端。6.根据权利要求5所述的一种蓝宝石晶片切割设备，其特征在于：所述第二支板（2）安装在环框（12）环形面底部，且环框（12）通过轴承（13）与短圆筒（15）转动连接，所述轴承（13）装配在短圆筒（15）中部。7.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶片切割设备，其特征在于：所述短圆筒（15）端口处环形面上开设有穿孔，且穿孔与条形切刀（9）相互滑动衔接。8.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶片切割设备，其特征在于：所述L型板（11）的竖板一侧安装有衔接条块，且衔接条块与条形切刀（9）一侧壁开设的衔接条槽滑动连接。9.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶片切割设备，其特征在于：所述第一吸盘（20）的中轴线与第二吸盘（23）的中轴线重合，且相应吸盘吸面与柱棒相应光滑端面吸附固定在一起。10.根据权利要求1-9所述的一种蓝宝石晶片切割设备得出一种蓝宝石晶片切割设备的工艺，其特征在于：所述工艺包括如下步骤：一、对柱状蓝宝石晶棒固定：将蓝宝石晶棒光滑端面经第一吸盘（20）与第三气缸（21）固定连接且位于长圆筒（7）内，同时启动环形分布的四个第一气