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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110791738A(43)申请公布日2020.02.14(21)申请号201910957051.6(22)申请日2019.10.10(71)申请人昆山金百辰金属科技有限公司地址215300江苏省苏州市昆山市花桥镇双华路西侧2幢(72)发明人蒋建华向毅(74)专利代理机构苏州衡创知识产权代理事务所(普通合伙)32329代理人仲昌民(51)Int.Cl.C23C14/35(2006.01)C23C14/34(2006.01)C23C14/10(2006.01)C23C14/02(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图1页(54)发明名称一种用于轮毂的真空磁控溅射离子镀膜工艺(57)摘要本发明公开了一种用于轮毂的真空磁控溅射离子镀膜工艺,其技术方案要点是:具体包括以下步骤:S1、初制二氧化硅靶材:选用二氧化硅粉末,和占二氧化硅粉末质量比为0.02%-0.1%的粘合剂,初制二氧化硅靶材棒;S2、精制二氧化硅靶材;S3、抛光轮毂:把铝合金轮毂置于装有磨料的振动研磨机中,磨料采用粒度为80-100目的金刚砂和目数为70-90目的棕刚玉研磨石;S4、预真空磁控溅射镀膜:将所述S3中抛光后的铝合金轮毂置于真空磁控溅射镀膜机内的镀膜室正中;S5、真空磁控溅射镀膜;本工艺在轮毂表面镀硅时采用的二氧化硅为靶源,二氧化硅由于比硅单质的成本低廉,故能够极大的缩减成本;且镀在轮毂表面的硅模粘合性好,不容易发生脱落。CN110791738ACN110791738A权利要求书1/2页1.一种用于轮毂的真空磁控溅射离子镀膜工艺,其特征在于:具体包括以下步骤:S1、初制二氧化硅靶材:选用纯度超过99.9%、颗粒度在0.8-1.2um之间的二氧化硅粉末,选取占二氧化硅粉末质量比为0.02%-0.1%的粘合剂,将二氧化硅粉末和粘合剂混合均匀后,在90-100MPA的压强和25-35℃的温度下在压模中成型得到初制二氧化硅靶材棒;S2、精制二氧化硅靶材:将所述S1中初制二氧化硅靶材棒置入到温度为620-680℃的烘箱内,并保温5-6h,以去除其内的粘合剂;S3、抛光轮毂:把铝合金轮毂置于装有磨料的振动研磨机中,磨料采用粒度为80-100目的金刚砂和目数为70-90目的棕刚玉研磨石,其中金刚砂与棕刚玉研磨石的质量比为3:1,采用40-50Hz的频率振动研磨,振动研磨时间为5-10min,直至铝合金表面的粗糙度达到Ra1.6;S4、预真空磁控溅射镀膜:将所述S3中抛光后的铝合金轮毂置于真空磁控溅射镀膜机内的镀膜室正中,选取数量为4-8个的所述S2中的精制二氧化硅靶材,利用夹具将精制二氧化硅靶材呈圆周阵列设置均布在轮毂四周;S5、真空磁控溅射镀膜:控制精制二氧化硅靶材温度为1100-1300℃;控制工作气体为氩气,反应气体为氧气,控制氩气与氧气的流量比15:20;控制真空磁控溅射镀膜机内的真空度为0.0005Pa,工作气压为1.0Pa;控制溅射功率为5KW,溅射时间为60min。2.根据权利要求1所述的一种用于轮毂的真空磁控溅射离子镀膜工艺,其特征在于:所述S1初制二氧化硅靶材时,选用纯度超过99.9%、颗粒度在0.9-1.1um之间的二氧化硅粉末,选取占二氧化硅粉末质量比为0.06%-0.1%的粘合剂,将二氧化硅粉末和粘合剂混合均匀后,在92-98MPA的压强和27-32℃的温度下在压模中成型得到初制二氧化硅靶材棒。3.根据权利要求1所述的一种用于轮毂的真空磁控溅射离子镀膜工艺,其特征在于:所述S2精制二氧化硅靶材中,将所述S1中初制二氧化硅靶材棒置入到温度为640-660℃的烘箱内,并保温5-6h,以去除其内的粘合剂。4.根据权利要求1所述的一种用于轮毂的真空磁控溅射离子镀膜工艺,其特征在于:所述S3抛光轮毂中,把铝合金轮毂置于装有磨料的振动研磨机中,磨料采用粒度为85-95目的金刚砂和目数为75-85目的棕刚玉研磨石,其中金刚砂与棕刚玉研磨石的质量比为3:1,采用40-50Hz的频率振动研磨,振动研磨时间为5-10min,直至铝合金表面的粗糙度达到Ra1.6。5.根据权利要求1所述的一种用于轮毂的真空磁控溅射离子镀膜工艺,其特征在于:所述S4预真空磁控溅射镀膜中,将所述S3中抛光后的铝合金轮毂置于真空磁控溅射镀膜机内的镀膜室正中,选取数量为4-6个的所述S2中的精制二氧化硅靶材,利用夹具将精制二氧化硅靶材呈圆周阵列设置均布在轮毂四周。6.根据权利要求1所述的一种用于轮毂的真空磁控溅射离子镀膜工艺,其特征在于:所述S5真空磁控溅射镀膜中,控制精制二氧化硅靶材温度为1150-1220℃;控制工作气体为氩气,反应气体为氧气,控制氩气与氧气的流量比15:20;控制真空磁控溅射镀膜机内的真空度为